[实用新型]腕关节机构件及其适用的机械手臂

权利要求书

1.一种腕关节机构件，其特征在于，所述腕关节机构件包括:

底座，所述底座表面具有二个轴心部与二个环状壁，其中所述二个环状壁分别环绕于所述二个轴心部周围；

二个枢轴件，以陶瓷材料制成，每一个所述枢轴件包括环状部与延伸部，其中所述环状部可套设在所述环状壁外围，所述延伸部由所述环状部的外侧壁向外延伸而凸出于所述底座外；

二个壳盖，分别盖设在所述二个轴心部、所述二个环状壁及所述二个枢轴件上；以及

传动带，一端连接在其中一所述枢轴件的环状部的外侧壁，另一端连接在另一所述枢轴件的环状部的外侧壁。

2.如权利要求1所述的腕关节机构件，其特征在于，所述陶瓷材料为氧化锆ZrO₂。

3.如权利要求1所述的腕关节机构件，其特征在于，所述陶瓷材料为氮化铝AlN、氮化硅Si₃N₄、三氧化二铝Al₂O₃、碳化硅SiC或氧化钇Y₂O₃。

4.如权利要求1所述的腕关节机构件，所述枢轴件还包括第一轴承单元，其特征在于，所述第一轴承单元是装设在所述环状部的内侧壁，所述环状部并同所述第一轴承单元套设在所述环状壁外围，并且所述环状部以所述轴心部为轴，通过所述第一轴承单元进行枢转。

5.如权利要求4所述的腕关节机构件，其特征在于，所述第一轴承单元的数量为至少一个。

6.如权利要求4所述的腕关节机构件，其特征在于，所述第一轴承单元为滚珠轴承。

7.如权利要求6所述的腕关节机构件，其特征在于，所述滚珠轴承以陶瓷材料制成。

8.如权利要求7所述的腕关节机构件，其特征在于，所述陶瓷材料为氧化锆ZrO₂。

9.如权利要求7所述的腕关节机构件，其特征在于，所述陶瓷材料为氮化铝AlN、氮化硅Si₃O₄、三氧化二铝Al₂O₃或碳化硅SiC。

10.如权利要求1所述的腕关节机构件，其特征在于，所述腕关节机构件还包括上盖板，固定在所述底座上方并且覆盖所述枢轴件、所述壳盖以及所述传动带。

11.一种机械手臂，用以承载及传送晶圆，其特征在于，所述机械手臂包括:

传动轴件；

二个上臂部，分别连接于所述传动轴件并且以所述传动轴件为轴进行枢转；

二个轴关节部，分别设置于所述二个上臂部的前端；

二个前臂部，分别通过所述二个轴关节部与所述二个上臂部连接，其中所述前臂部以所述轴关节部为轴相对所述上臂部枢转；

如权利要求1至10中任一项的腕关节机构件，其中，所述腕关节机构件通过所述枢轴件的延伸部连接于所述二个前臂部；以及

承载座，以陶瓷材料或石英制成，所述承载座连接所述腕关节机构件的底座。

12.如权利要求11所述的机械手臂，其特征在于，所述轴关节部包括至少一个第二轴承单元。

13.如权利要求12所述的机械手臂，其特征在于，所述第二轴承单元为以陶瓷材料制成的滚珠轴承。

14.如权利要求13所述的机械手臂，其特征在于，制成所述第二轴承单元的所述陶瓷材料为氧化锆ZrO₂、氮化铝AlN、氮化硅Si₃N₄、三氧化二铝Al₂O₃或碳化硅SiC。