[实用新型]一种太阳能电池片激光刻蚀装置及其加工系统

权利要求书

1.一种太阳能电池片激光刻蚀装置，包括用于承载太阳能电池片(300)的工作台、用于控制激光光路从而对太阳能电池片(300)进行刻蚀的激光组件(600)，以及除尘机构(500)；其特征在于：所述除尘机构(500)包括除尘匣(540)、吸尘嘴(521)，所述除尘匣(540)罩在工作台的上表面，该除尘匣(540)的一侧壁与吸尘嘴(521)连通，除尘匣(540)上相对的另一侧壁上设有吹气管(532)。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述除尘匣(540)顶部开设有光路孔，用于通过激光组件(600)产生的激光。

3.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述的除尘匣(540)上设置有进风口(541)，该进风口(541)位于吹气管(532)所在侧，并与吹气管(532)相互配合。

4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述的吹气管(532)上间隔设置多个吹气孔，且吹气孔的吹气方向倾斜向下。

5.根据权利要求3所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述的吹气管(532)的两端分别设有一挂耳(533)，通过该挂耳(533)调节吹气管(532)的高度。

6.根据权利要求1或4或5所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述工作台为旋转工作台(200)，该旋转工作台(200)包括承载台(201)、旋转轴(202)和旋转底盘(203)，所述旋转轴(202)下端设置于旋转底盘(203)上，该旋转轴(202)上端设置所述承载台(201)，该承载台(201)用于承载太阳能电池片(300)。

7.根据权利要求6所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述旋转轴(202)上端沿其周向至少等间隔设置有2个承载台(201)。

8.根据权利要求1或4或5所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述的激光组件(600)包括绿光激光器(601)、第一反射镜(602)、第二反射镜(603)、绿光扩束镜(604)、整形镜(605)、绿光振镜(606)、绿光场镜(607)，其激光光路传输路径为：由绿光激光器(601)发射激光，依次经第一反射镜(602)、第二反射镜(603)、绿光扩束镜(604)、整形镜(605)、绿光振镜(606)和绿光场镜(607)，最终送至除尘匣(540)中对太阳能电池片(300)进行加工。

9.一种太阳能电池片激光刻蚀装置的加工系统，其特征在于：包括上料机构(700)、搬运机构(800)、下料机构(900)和权利要求1-8中任一项所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置；其中，上料机构(700)上的太阳能电池片(300)通过搬运机构(800)运至旋转工作台(200)，并在刻蚀工位处通过激光组件(600)进行加工；加工后的太阳能电池片(300)由搬运机构(800)运至下料机构(900)。

10.根据权利要求9所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置的加工系统，其特征在于：所述的搬运机构(800)包括转动轴(801)、摆臂(802)和吸盘(804)；其中，转动轴(801)安装于底板(100)上，所述的摆臂(802)一端与转动轴(801)相连，另一端与吸盘(804)相连，吸盘(804)用于吸附太阳能电池片(300)。

11.根据权利要求9或10所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置的加工系统，其特征在于：所述激光刻蚀装置带有承载台(201)，该承载台(201)设置有4个，且4个承载台(201)等间隔设置。