[实用新型]一种观察粉体的扫描电镜用样品台

说明书

本实用新型涉及扫描电镜用样品台领域，提供一种观察粉体的扫描电镜用样品台，包括桶状台体和硅板，硅板上的凸起与台体上部的内壁采用插入式过盈配合安装在一起。硅板上设有凹槽，凹槽内设有渗液孔，台体的侧面底部设有液体流失孔。本样品台可同时观察多个样品，不需要使用导电胶带，而且用后进行清洗完可重复使用，减小了样品的制备难度，提高了工作效率，解决了粉体样品制样过程中的耗时耗力、浪费材料的技术问题，是扫描电镜用样品台方面的创新。

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜用样品台，特别是一种观察粉体的扫描电镜用样品台。

背景技术

扫描电子显微镜(扫描电镜)是一种现代材料分析中的重要仪器，它具有放大倍数可调范围宽、成像分辨率高、景深大等特点，广泛应用于冶金学、材料学、生物学、医学等领域，促进了各有关学科的迅速发展。

扫描电镜的一个重要特点是景深大，扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大数十倍，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，故所得扫描电子图像富有立体感，具有三维形态，能够提供比其他显微镜更多的信息，这个特点对使用者很有价值。扫描电镜所显示的样品形貌在教学、科研和生产中，有不可替代的作用。

样品台是扫描电镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子系统成像表征样品的局部特征。由于扫描电镜自身结构特征，待观测的试样需要稳稳地固定于样品台上，且被观测表面要垂直于电子束的方向。

在观察微粉体样品时，尤其是微米级、亚微米级、纳米级粉体颗粒，如果将粉体直接固定在导电胶带上进行观察，粉体团聚严重，无法清晰观察样品形貌。现在行业内人士通常的做法是：将无水乙醇和粉体混合成混合液并置于小型封口试管中，然后将其超声震荡成混合液，使用一次性滴管将混合液滴到事先制好的小块硅片上，这样一部分混合液流失，一部分留在硅片表面上，晾干后硅片表面即带有粉体样品且不团聚，然后在样品台上粘上导电胶带，用摄子将带粉末样品的硅片移到导电胶带上面，用摄子将硅片边缘压紧，如图1所示；然后再将样品台放置于扫描电镜配置的托架内，才可以用扫描电镜对样品进行观察。此方法所使用的硅片尺寸小，使用前需先将大块硅片(商用硅片一般为直径60mm的圆片)用玻璃刀划成小块，进行清洗后，泡在无水乙醇中待用。硅片无法做的特别规整，用摄子将其夹紧后移动时极易掉落；使用时也无法排列整齐，观察时容易记错位置及编号；使用后硅片不易收集，易划伤操作人员的手指；硅片很难重复使用，造成了硅片的浪费。此方法耗时耗力，需要使用导电胶带，硅片不能重复使用，不符合节能降耗的国家政策。

因此，研制新型观察粉体的扫描电镜用样品台是当务之急。

实用新型内容

针对上述情况，为解决现有技术之缺陷，本实用新型之目的就是提供一种观察粉体的扫描电镜用样品台，可有效解决样品台粉体样品观察过程中硅片不能重复利用、需要使用导电胶带、观察样品时容易记错位置、耗时耗力、工作效率低的问题。

本实用新型采用如下技术方案：一种观察粉体的扫描电镜用样品台，包括台体、硅板，所述台体呈桶状，所述硅板设有凸起，所述硅板通过凸起与台体上部的内壁采用插入式过盈配合安装在一起，所述硅板设有凹槽，所述凹槽内设有渗液孔，所述台体的侧面底部设有液体流失孔。

所述凹槽有多个，所述凹槽内的渗液孔个数为1-4个。

所述台体采用纯铜制造。

本实用新型具有以下优点：

1)整个样品台用后进行清洗完可重复使用，避免了每次制样时均使用新的硅片。

2)不需要使用导电胶带，降低了制样成本。

3)凹槽排列整齐，观察时不会记错样品位置。

4)制样时只需将制好的混合液用一次性滴管移入凹槽内，省时省力，工作效率高。

附图说明