[实用新型]一种旋转式五轴探针量测机

权利要求书

1.一种旋转式五轴探针量测机，包括机柜（1），所述机柜（1）中设有单面开口的检测腔室（7），其特征在于，所述检测腔室（7）下端左右两侧均设有门型架结构，所述检测腔室（7）左右两侧的门型架结构间安装有X向横梁（2），X向横梁（2）水平设置且两侧活动连接在门型架结构的Y向横梁（11）上，所述门型架上设有同步驱动X向横梁（2）进行Y向位移的Y向驱动机构，所述X向横梁（2）上设有两个探针装置架（3），X向横梁（2）上设有驱动探针装置架（3）进行X向位移的X向驱动机构，所述两探针装置架（3）的下端均设有探针（5），探针装置架（3）中均设有驱动探针（5）进行Z向升降调节的Z向驱动机构，所述检测腔室（7）中设有用以放置和固定待测量工件的旋转治具台（9）。

2.根据权利要求1所述的旋转式五轴探针量测机，其特征在于，所述门型架结构包括两竖直设置的立柱（8）及连接在立柱（8）间水平设置的Y向横梁（11）。

3.根据权利要求1所述的旋转式五轴探针量测机，其特征在于，所述X向驱动机构、Y向驱动机构、Z向驱动机构及旋转治具台（9）均连接机柜（1）中的控制电路系统。

4.根据权利要求1所述的旋转式五轴探针量测机，其特征在于，所述X向横梁（2）上设有两组独立工作的X向驱动机构。

5.根据权利要求1所述的旋转式五轴探针量测机，其特征在于，所述旋转治具台（9）上设有旋转机构，所述旋转机构包括转盘、连接轴及驱动电机，所述转盘的下端圆心处连接连接轴的上端，连接轴的下端连接驱动电机输出端，转盘上安装有工件夹具。

6.根据权利要求3所述的旋转式五轴探针量测机，其特征在于，所述X向驱动机构和Y向机构包括同步带和驱动驱动电机，探针装置架（3）安装在Y向驱动机构的同步带上，探针装置架（3）均安装在X向驱动装置的同步带上，同步带通过传动轴连接驱动驱动电机。

7.根据权利要求1所述的旋转式五轴探针量测机，其特征在于，所述探针装置架（3）中的Z向驱动机构为丝杆结构，丝杆结构包括一组相互匹配的丝杆和丝套，探针装置架（3）中设有用于驱动丝杆的驱动电机，丝杆连接驱动电机的输出端，探针连接在丝套上，丝杆丝套竖直设置。

8.根据权利要求1所述的旋转式五轴探针量测机，其特征在于，所述检测腔室（7）中设有开关控制器（4），开关控制器（4）上设有启动及关闭按钮。

9.根据权利要求1所述的旋转式五轴探针量测机，其特征在于，所述检测腔室（7）的两侧设有侧板（12），侧板（12）通过铰链活动安装在机柜（1）上，侧板（12）上设有拉手。

10.根据权利要求1所述的旋转式五轴探针量测机，其特征在于，所述机柜（1）的下端设有若干脚轮（6），脚轮（6）分布在机柜（1）下端四角处，所述脚轮（6）的外侧设有固定脚杯（10）。