[实用新型]一种分子泵清扫装置及系统

说明书

本实用新型提供了一种分子泵清扫装置及系统，所述分子泵清扫装置包括一盖板，所述盖板包括多个进气口和出气口。分子泵清扫装置系统，包括分子泵清扫装置和分子泵，所述分子泵清扫装置固定在分子泵上，所述分子泵包括一干泵和一腔体，所述腔体内壁四周有叶片。洁净干燥压缩空气通过分子泵清扫装置的多个进气口均匀进入分子泵，多个进气口的气体制造扰流，气体进入分子泵后使得叶片转动，加强了气体扰流，把泵体内的聚合物吹扫干净并扬起，用真空吸管从出气口把泵体内的聚合物抽走。通过所述分子泵清扫装置对分子泵进行清扫，分子泵泵体清洁度明显改善，提高了产品工艺的良率，也可延长分子泵的寿命。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备清扫技术领域，特别涉及一种分子泵清扫装置及系统。

背景技术

分子泵是半导体制程真空系统必须部件。工艺过程中产生的聚合物会随着分子泵抽走，在抽走过程中聚合物会粘附在泵体内。随着时间的积累，聚合物在泵体内积少成多，当分子泵工作时，泵体内的聚合物随着钟摆阀伺服压力摆动容易被扬起到腔体内，产生的剥落颗粒影响产品工艺良率。

现有技术是分子泵泵体聚合物较多时，采用拆卸分子泵，然后浸泡在无水酒精里浸泡5-10分钟，换掉无水酒精，加入新的无水酒精，至少重复一次，还要用泵抽30分钟，以及用前级泵抽真空，以便完全消除分子泵中残留的无水酒精，该现有技术操作步骤复杂，耗时较长。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种分子泵清扫装置及系统，以解决分子泵泵体内部聚合物过多导致聚合物剥落颗粒影响产品工艺良率的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种分子泵清扫装置，所述分子泵

清扫装置包括：

一盖板，所述盖板包括多个进气口和出气口，所述出气口沿盖板向上延伸出一圆管。

可选的，所述进气口连接进气管。

可选的，所述进气管和所述进气口通过三通阀门进行密封连接。

可选的，所述进气口内通入气体为洁净干燥压缩空气。

可选的，所述出气口向上延伸的圆管连接一真空吸管。

可选的，所述出气口向上延伸的圆管和所述真空吸管通过密封方式连接。

可选的，所述进气口和所述出气口均为圆形。

可选的，所述出气口半径大于所述进气口的半径。

为解决上述技术问题，本实用新型还提供一种分子泵清扫装置系统，所述分子泵清扫装置系统包括：

一分子泵，所述分子泵包括一干泵和一腔体，所述腔体内四周有叶片；

一上述任一所述的分子泵清扫装置，所述分子泵清扫装置在所述分子泵上方，所述分子泵清扫装置和所述分子泵通过卡槽的方式连接，洁净干燥压缩空气通过所述多个进气口进入分子泵，多个进气口的气体进入分子泵制造扰流，多个进气口的气体进入泵体后气体使得叶片转动增强扰流，气体把泵体内的聚合物吹扫干净并扬起，再用所述真空吸管从所述出气口吸走分子泵内的聚合物。

本实用新型提供的分子泵清扫装置及系统，分子泵清扫装置和分子泵连接后，所述分子泵清扫装置的所述进气口通入洁净干燥压缩空气，此处洁净干燥压缩空气简称CDA，下面用CDA代替洁净干燥压缩空气，多个进气口制造扰流，多个进气口的气体使得泵体内的叶片转动，使得泵体内扰流加强，让分子泵泵体内聚合物尽量吹扫干净并扬起，再用所述真空吸管从所述出气口吸走，达到清扫分子泵的目的，避免分子泵泵体聚合物剥落颗粒，影响产品工艺良率，进一步的改善了分子泵的洁净度，也可以延长分子泵的寿命。

附图说明

图1是本实用新型实施例的分子泵清扫装置俯视示意图；