[实用新型]新型大功率激光探测器中热电堆结构有效
| 申请号： | 201920288611.9 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN209541901U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 隋成华;杨浩;汪飞;方新庭;屠潜 | 申请（专利权）人： | 杭州博源光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 311422 浙江省杭州市富*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热电堆 衬底 大功率激光 探测器 薄膜热电堆 导热层 氧化铝 薄层 吸光 本实用新型 真空设备 制备 裸露 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型大功率激光探测器中热电堆结构，包括薄膜热电堆，其特征在于：所述热电堆结构还包括衬底和吸光导热层，所述衬底的一面为裸露的铝，所述衬底的一面上设有吸光导热层，所述衬底的另一面为氧化铝薄层，所述氧化铝薄层上设置薄膜热电堆。
2.如权利要求1所述的新型大功率激光探测器中热电堆结构，其特征在于：使用的氮气切割的两套正反Z形螺旋的不锈钢材质的掩模板，将两个掩膜版合成印刷制得所述薄膜热电堆，所述薄膜热电堆的两端引出正负电极。
3.如权利要求1或2所述的新型大功率激光探测器中热电堆结构，其特征在于：所述薄膜热电堆中，热电偶材料为镍-铬、镍-硅、镍-铝、铜、镍、康铜中的两种。
4.如权利要求2所述的新型大功率激光探测器中热电堆结构，其特征在于：所述两套掩模板的热电偶材料选择镍-铬和镍-硅。
5.如权利要求1或2所述的新型大功率激光探测器中热电堆结构，其特征在于：所述薄膜热电堆上采用圆环结构的高温胶布作为保护层。
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