[实用新型]柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置

权利要求书

1.柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：包括若干级气体混合子单元顺次连接组成的气体混合单元，所述的气体混合子单元包括导流混合舱(16)和混合舱(7)，所述的混合舱(7)为空心管状，混合舱(7)的侧壁两端边缘分别设置有环形进气带(4)和环形出气带(5)，所述的混合舱(7)的环形进气带(4)与导流混合舱(16)出气端连通，所述的混合舱(7)的环形出气带(5)与下一级气体混合子单元内的导流混合舱(16)的进气端连通，气体混合子单元内的混合舱(7)两端的进气端和出气端均密封；

所述的气体混合单元前置第一混合舱(15)，第一混合舱(15)的环形出气带(5)与第一级气体混合子单元内导流混合舱(16)的进气端连通，第一混合舱(15)的出气端密封，第一混合舱(15)的进气端与反应气体混合室(14)连通，第一混合舱(15)的环形进气带(4)与工作气体储气舱(6)连通；

所述的反应气体混合室(14)与至少一个反应气体进气口连通，所述的工作气体储气舱(6)与至少一个工作气体进气口(3)连通；

所述的环形进气带(4)环形分布若干个进气喷嘴(12)，所述的进气喷嘴(12)的轴向沿环形进气带(4)的径向分布，所述的进气喷嘴(12)的孔径大小由管壁外侧到管壁内侧逐渐减小，所述的环形出气带(5)环形分布若干个出气喷嘴(13)，所述的出气喷嘴(13)的轴向沿环形出气带(5)的径向分布，所述的出气喷嘴(13)的孔径大小由管壁内侧到管壁外侧逐渐减小。

2.如权利要求1所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的反应气体混合室(14)分别与第一反应气体进气口(1)和第二反应气体进气口(2)连通，所述的工作气体储气舱(6)与一个工作气体进气口(3)连通。

3.如权利要求2所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的气体混合单元由四级气体混合子单元顺次连接组成，第一级气体混合子单元导流混合舱(16)的进气端与第一混合舱(15)的环形出气带(5)连通，第四级气体混合子单元的混合舱(7)的出气端与混合气体出气口(11)连通。

4.如权利要求1所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的气体混合单元由内气管和外气管两根导气管相互嵌套形成，内气管内等间距的设置若干个混合舱隔板(8)，所述的混合舱隔板(8)与内气管轴向垂直，所述的混合舱隔板(8)数量与气体混合子单元数量相同；所述的外气管内设置若干个环形导流室隔板(9)，所述的导流室隔板(9)设置于混合舱(7)侧壁的中央位置；相邻混合舱隔板(8)之间形成混合舱(7)，相邻导流室隔板(9)之间形成导流混合舱(16)。

5.如权利要求4所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的反应气体混合室(14)的出气口与内气管的进气端连通，最靠近内气管的进气端的混合舱隔板(8)与内气管的进气端之间形成第一混合舱(15)，所述的反应气体混合室(14)外侧套有工作气体储气舱(6)，所述的工作气体储气舱(6)与相邻的导流混合舱(16)之间设置有导流室隔板(9)。

6.如权利要求4所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的导流混合舱(16)内设置有导流板(10)，所述的导流板(10)为环形板，所述的导流板(10)固定安装在内气管的外表面。

7.如权利要求6所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的导流板(10)的宽度为导流室隔板(9)宽度的二分之一，所述的导流板(10)设置在相邻两导流室隔板(9)之间的中央位置。

8.如权利要求1所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的进气喷嘴(12)和出气喷嘴(13)的大径端直径均为1mm，小径端直径均为0.2mm。