[实用新型]一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器有效
| 申请号： | 201920272018.5 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN209416567U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 章城;廖宁波;吴明格 | 申请（专利权）人： | 温州大学 |
| 主分类号： | G01L9/02 | 分类号： | G01L9/02;G01L1/20 |
| 代理公司： | 温州匠心专利代理事务所(特殊普通合伙) 33279 | 代理人： | 詹晓东 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微纳结构 柔性压力传感器 石墨 石墨薄膜 本实用新型 纸张表面 电阻率 上表面 石墨基 双片式 压阻式 高灵敏度 功能材料 压力传感 压阻特性 低成本 微电极 粘合 传感器 传感 涂覆 灵敏 上层 敏感 压缩 响应 制作 | ||
【权利要求书】：
1.一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征在于：包括第一纸张以及与其相粘合的第二纸张，所述第一纸张表面与第二纸张表面均涂覆有石墨薄膜，所述第二纸张的上表面设有石墨微纳结构以及与石墨微纳结构相连的微电极。
2.根据权利要求1所述的一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征在于：所述石墨薄膜由铅笔直写或石墨溶液沉积得到。
3.根据权利要求1所述的一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征在于：所述石墨微纳结构表面带有一层二氧化硅薄膜。
4.根据权利要求3所述的一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征在于：所述二氧化硅薄膜通过化学气相沉积法在石墨表面沉积。
5.根据权利要求3所述的一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征在于：所述石墨微纳结构为微纳米量级。
6.根据权利要求1所述的一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征在于：所述石墨薄膜和石墨微纳结构的接触面积为微米量级。
7.根据权利要求1所述的一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征在于：所述第一纸张和第二纸张通过胶带或胶水粘合。
8.根据权利要求1所述的一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征在于：所述电极的材料采用银或铜或导电银浆。
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