[实用新型]一种半自动取片机有效
| 申请号: | 201920259818.3 | 申请日: | 2019-03-01 |
| 公开(公告)号: | CN209551438U | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
| 发明(设计)人: | 谢德元 | 申请(专利权)人: | 苏州恒力翔自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市相城区阳*** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 升降滑轨 旋转轴机构 螺栓固定 工作台 壳体 取片 放置机构 控制面板 顶部板 感应器 陶瓷盘 万向轮 循环水 料盒 本实用新型 传动连接 对称安装 滑道设置 滑动连接 升降电机 转动连接 滑道 晶片 丝杆 加热 | ||
本实用新型公开了一种半自动取片机,包括工作台、万向轮、旋转轴机构、陶瓷盘循环水、料盒放置机构、升降滑轨和感应器,四组所述万向轮分别两两对称安装在工作台的底部,所述旋转轴机构通过螺栓固定在工作台的上部一侧,所述旋转轴机构与陶瓷盘转动连接,所述喷水滑道设置在旋转轴机构的一侧,所述循环水设置在喷水滑道的另一侧,所述料盒放置机构通过螺栓固定在升降滑轨的底部,所述升降滑轨与壳体的一侧滑动连接,所述升降滑轨通过丝杆与升降电机传动连接,所述壳体的顶部通过螺栓固定有顶部板,所述感应器安装在顶部板的一端,所述升降滑轨的一侧设有控制面板,所述控制面板安装在壳体的内部,取片时,晶片直接进入cattle,无需加热取片工序。
技术领域
本实用新型属于取片机技术领域,具体涉及一种半自动取片机。
背景技术
JLT-02型半自动取片机是根据国际半导体产业和蓝宝石产业的发展和市场需求而研发的半自动取片设备。主要用于硅片、蓝宝石片等类似材料的抛光后取片工序,取代传统的人工手动取片,具有速度快、不良少、效率高等特点,是半导体、蓝宝石行业加工工艺中必不可少的设备之一。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半自动取片机,取片时,晶片直接进入cattle,无需加热取片工序,提升产能,降低劳动强度,减少用人成本,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半自动取片机,包括工作台、万向轮、旋转轴机构、陶瓷盘、喷水滑道、循环水、料盒放置机构、升降滑轨和感应器,四组所述万向轮分别两两对称安装在工作台的底部,所述旋转轴机构通过螺栓固定在工作台的上部一侧,所述旋转轴机构与陶瓷盘转动连接,所述喷水滑道设置在旋转轴机构的一侧,所述循环水设置在喷水滑道的另一侧,所述料盒放置机构设置在循环水的内部,所述料盒放置机构通过螺栓固定在升降滑轨的底部,所述工作台的一侧通过螺栓固定有壳体,所述升降滑轨与壳体的一侧滑动连接,所述升降滑轨通过丝杆与升降电机传动连接,所述壳体的顶部通过螺栓固定有顶部板,所述感应器安装在顶部板的一端,所述升降滑轨的一侧设有控制面板,所述控制面板安装在壳体的内部,所述升降电机与控制面板电性连接,所述感应器与控制面板电性连接。
优选的,所述工作台包括防护板和水槽,所述防护板通过螺栓固定在工作台的上部一侧,所述水槽设置在工作台的内部。
优选的,所述旋转轴机构包括旋转座、旋转轴、轴承组和旋转台,所述旋转座的底部通过螺栓固定在工作台上,所述旋转轴通过轴承组安装在旋转座的内部,所述旋转台通过螺栓固定在旋转轴的上端。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、提升产能,降低劳动强度,减少用人成本;
2、取片时,晶片直接进入cattle,无需加热取片工序;
3、部件多采用进口产品,性能稳定可靠,故障少,维护成本低,占地空间小,操作方便。
4、设备自带纯水循环系统,有效降低生产成本。
附图说明
图1为本实用新型的剖视图;
图2为本实用新型的侧视图。
图中:1、工作台;101、防护板;102、水槽;2、万向轮;3;旋转轴机构;301、旋转座;302、旋转轴;303、轴承组;304、旋转台;4、陶瓷盘;5、喷水滑道;6、循环水;7、料盒放置机构;8、升降滑轨;9、升降电机;10、顶部板;11、感应器;12、壳体;13、控制面板。
具体实施方式
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州恒力翔自动化设备有限公司,未经苏州恒力翔自动化设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920259818.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种高效抛光表冠装置
- 下一篇:一种除尘抛光机





