[实用新型]一种应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极

权利要求书

1.一种应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，包括用于安装在真空腔室(1)顶端的阳极，以及用于安装在真空腔室(1)底端的阴极；所述阳极设置为螺旋电极(2)，且与射频电源电连接；所述阴极设置为样品台(3)，且附加有脉冲负偏压。

2.如权利要求1所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述螺旋电极(2)具体设置为蚊香状平面螺旋电极结构。

3.如权利要求2所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述蚊香状平面螺旋电极的高度设置为30cm，直径设置为10cm。

4.如权利要求1所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述螺旋电极(2)具体设置为双螺旋电极结构。

5.如权利要求4所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述双螺旋电极的高度设置为40cm，直径设置为6cm。

6.如权利要求3或5所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述螺旋电极(2)采用不锈钢或铜材质。

7.如权利要求1所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述样品台(3)设置为圆形结构。

8.如权利要求7所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述样品台(3)包括样本托(5)、样品台体(6)及驱动组件(12)，所述样本托(5)安装在样品台体(6)顶端，所述驱动组件(12)通过同步齿轮带(11)和同步带轮(10)驱动所述样品台体(6)转动。

9.如权利要求8所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述样品台体(6)底部还设置有水冷磁流体(4)。

10.如权利要求9所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述样品台体(6)与水冷磁流体(4)之间还依次层叠有瓷垫(7)、尼龙绝缘环(8)及尼龙垫压环(9)。