[实用新型]一种曝光用激光换能吸收结构有效

专利信息
申请号: 201920258185.4 申请日: 2019-02-28
公开(公告)号: CN209343133U 公开(公告)日: 2019-09-03
发明(设计)人: 蔡志国;张米好;余加辉 申请(专利权)人: 深圳凯世光研股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309 代理人: 廉红果;侯峰
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 曝光组件 吸收组件 电路板 转运平台 电磁波 基板 反射 本实用新型 吸收结构 反光 换能 曝光 激光 反射波长 曝光工艺 曝光过程 吸收波长 相对设置 吸光层 紫外线
【权利要求书】:

1.一种曝光用激光换能吸收结构,其特征在于:包括转运平台、曝光组件和至少一组吸收组件,所述曝光组件设置在所述转运平台上方,所述吸收组件相对设置在所述曝光组件的底部,所述吸收组件包括基板和敷设在所述的基板底部吸光层,所述基板与所述曝光组件连接。

2.根据权利要求1所述的一种曝光用激光换能吸收结构,其特征在于:所述吸光层包括荧光粉层和敷设在荧光粉层上的粘合剂,所述荧光粉层通过混合的粘合剂敷设在所述基板底部。

3.根据权利要求2所述的一种曝光用激光换能吸收结构,其特征在于:所述吸光层还包括隔离层,所述隔离层设置在所述荧光粉层的外侧。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种曝光用激光换能吸收结构,其特征在于:所述吸收组件设置有多组,多组所述吸收组件之间设置有收纳曝光组件的空位。

5.根据权利要求4所述的一种曝光用激光换能吸收结构,其特征在于:所述曝光组件的照射方向垂直于所述的转运平台。

6.根据权利要求5所述的一种曝光用激光换能吸收结构,其特征在于:还包括支架,所述基板通过所述支架与所述曝光组件固定连接。

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