[实用新型]一种晶舟有效
| 申请号： | 201920253147.X | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN209822607U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 罗士文;汪琴;方星;高伟伟;陈林;邱智中;蔡吉明 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆 承载单元 盒状结构 档板 滑杆 本实用新型 可伸缩的 复数 晶舟 半导体技术领域 工作效率 铰链连接 两两相对 实际过程 相对设置 依次排列 可调节 破损率 铰链 | ||
1.一种晶舟，其特征在于：包括相对设置的档板、复数个可伸缩的滑杆、若干个可伸缩的铰链和若干个晶圆承载单元，复数个滑杆两两相对设置在档板上，形成一盒状结构；所述晶圆承载单元沿所述档板排列的方向依次排列在所述盒状结构内，并通过所述滑杆固定在所述盒状结构内，相邻晶圆承载单元之间通过铰链连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶舟，其特征在于：所述晶圆承载单元呈“U型”结构，每一晶圆承载单元均包括若干个固定块，所述固定块包括本体和用于容置晶圆的卡槽。
3.根据权利要求1所述的一种晶舟，其特征在于：所述晶圆承载单元呈“U型”结构，每一晶圆承载单元均包括若干个固定块和连接固定块的固定板，所述固定块包括本体和用于容置晶圆的卡槽。
4.根据权利要求1所述的一种晶舟，其特征在于：所述滑杆和铰链在外力的外用下被拉长或者缩短，进而调整相邻晶圆承载单元之间的距离。
5.根据权利要求1所述的一种晶舟，其特征在于：所铰链为X型铰链。
6.根据权利要求5所述的一种晶舟，其特征在于：每一晶圆承载单元上均设置有一个所述X型铰链，铰链与铰链之间相互连接。
7.根据权利要求1所述的一种晶舟，其特征在于：所述晶圆承载单元能在所述滑杆上左右移动。
8.根据权利要求2或者3所述的一种晶舟，其特征在于：所述固定块本体上设置至少设置有一通孔，所述滑杆贯穿该通孔。
9.根据权利要求2或者3所述的一种晶舟，其特征在于：每一晶圆承载单元中固定块的个数≥3。
10.根据权利要求1所述的一种晶舟，其特征在于：所述滑杆的数量≥3。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
