[实用新型]一种降低晶体缺陷的单晶炉有效
申请号: | 201920248345.7 | 申请日: | 2019-02-27 |
公开(公告)号: | CN209873178U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 刘冬雯 | 申请(专利权)人: | 刘冬雯 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 33224 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人: | 褚超孚 |
地址: | 226000 江苏省南通*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热器 坩埚 加热筒体 电极脚 驱动机构 减小 溶体 本实用新型 单晶炉设备 中心对称性 电流回路 晶体缺陷 能量流失 筒形结构 相对移动 正负电极 加厚 单晶炉 发热器 石墨条 单晶 加宽 发热 迂回 包围 保证 | ||
1.一种降低晶体缺陷的单晶炉,包括坩埚和包围在所述坩埚外面的加热器,其特征在于:
所述加热器包括加热筒体和设置在所述加热筒体底部的至少四个电极脚;所述加热筒体由上下迂回的U字型石墨条制成;
所述加热器的高度不高于所述坩埚内溶体的高度,所述加热筒体的高度为所述加热器总高度的1/3~2/3;所述坩埚与所述加热器之间设有相对移动的驱动机构。
2.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于:所述的电极脚包括相互垂直的加热腿和加热脚,所述加热脚底部设有螺纹孔,所述螺纹孔内安装有用于调节加热器平稳的螺栓。
3.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于:所述的驱动机构包括设置在所述坩埚底部的驱动电机。
4.根据权利要求3所述的单晶炉,其特征在于:所述的坩埚底端套有与埚杆配合的导向套。
5.根据权利要求4所述的单晶炉,其特征在于:所述的埚杆与所述的导向套之间设有相互配合的螺纹。
6.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于:所述的加热筒体的高度为所述的加热器总高度的1/2。
7.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于:所述的电极脚包括均匀设置的六个或八个。
8.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于:所述的电极脚的数量每增加n倍后,改变电极脚的宽度或厚度使两电极之间的电阻为原来的1至n倍。
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