[实用新型]曝光机有效

专利信息
申请号: 201920244287.0 申请日: 2019-02-26
公开(公告)号: CN209674182U 公开(公告)日: 2019-11-22
发明(设计)人: 王建勋;程亮 申请(专利权)人: 广东思沃精密机械有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人: 张全文<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 523000 广东省东莞市松*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 安装架 曝光膜 主机体 传送机构 直线电机 底架 错位 传输装置 纠偏机构 本实用新型 方向传送 滑动安装 曝光设备 连接杆 曝光机 输出端 输入端 纠偏 纠正
【权利要求书】:

1.一种曝光机,其特征在于:包括主机体和两个传输装置,两个所述传输装置均包括安装架、传送机构和位移纠偏机构,两个所述安装架分别位于所述主机体的输入端和输出端,两个所述传送机构分别安装于两个所述安装架上并均用于沿X轴方向传送待曝光膜料通过所述主机体,两个所述位移纠偏机构均包括底架和直线电机,两个所述安装架分别沿Y轴方向滑动安装于两个所述底架上,两个所述直线电机分别沿Y轴方向安装于两个所述安装架上,且两个所述直线电机的连接杆分别连接于两个所述底架。

2.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于:两个所述位移纠偏机构均包括若干滑轨和若干滑块,各所述滑轨均沿Y轴方向安装于对应的所述底架上,各所述滑块均安装于对应的所述安装架上并分别与各所述滑轨滑动连接。

3.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于:两个所述传送机构均包括收卷胶辊和驱动电机,所述收卷胶辊安装于对应的所述安装架上并用于传送所述待曝光膜料通过所述主机体,所述驱动电机安装于对应的所述安装架上,且所述驱动电机的驱动轴与所述收卷胶辊传动连接。

4.根据权利要求3所述的曝光机,其特征在于:两个所述传送机构均还包括电磁离合器,所述电磁离合器安装于对应的所述安装架上,且所述电磁离合器位于所述驱动电机和所述收卷胶辊之间,所述电磁离合器的输入轴和所述驱动电机的驱动轴传动连接,所述电磁离合器的输出轴和所述收卷胶辊传动连接。

5.根据权利要求3所述的曝光机,其特征在于:两个所述传送机构均还包括第一传输胶辊、第二传输胶辊和第三传输胶辊,所述第一传输胶辊、所述第二传输胶辊和所述第三传输胶辊依序沿背离所述主机体的方向可转动地安装于对应的所述安装架上并与所述收卷胶辊共同形成用于传输所述待曝光膜料的传输路径。

6.根据权利要求5所述的曝光机,其特征在于:两个所述传送机构均还包括用于承托所述待曝光膜料的承接组件,两个所述承接组件均包括吸气板和承接板,所述吸气板安装于对应的所述安装架上并位于所述第一传输胶辊和所述主机体之间,所述吸气板开设有用于与外界抽真空装置相连通的吸气腔,所述承接板安装于所述吸气板上且覆盖于所述吸气腔,所述承接板上开设有若干吸气孔,各所述吸气孔均与所述吸气腔相连通。

7.根据权利要求1~6任一项所述的曝光机,其特征在于:所述曝光机还包括两个膜轴装置,两个所述膜轴装置分别位于两个所述传输装置和所述主机体之间并用于过渡传送所述待曝光膜料。

8.根据权利要求7所述的曝光机,其特征在于:两个所述膜轴装置均包括主架体、第一膜轴、转动电机和第二膜轴,所述主架体位于对应的所述传输装置和所述主机体之间,所述第一膜轴可转动地安装于所述主架体上,所述转动电机安装于所述主架体上,且所述转动电机的驱动轴与所述第一膜轴的第一端相连接,所述第二膜轴可转动地安装于所述主架体内并平行于所述第一膜轴设置。

9.根据权利要求8所述的曝光机,其特征在于:两个所述膜轴装置均还包括调位机构,两个所述调位机构均包括固定板和承载架,所述固定板安装于对应的所述主架体内并对应所述第一膜轴设置,所述固定板的上端面开设有若干安装螺孔,所述承载架的下端面开设有若干装配螺孔,所述承载架通过若干调位螺栓穿设各所述装配螺孔和各所述安装螺孔以安装于所述固定板上,所述第二膜轴可转动地安装于所述承载架上。

10.根据权利要求9所述的曝光机,其特征在于:两个所述调位机构还均包括直线马达,所述直线马达安装于对应的所述主架体的下端面,且所述直线马达的连接杆穿过所述主架体的下端面并固定连接于所述固定板的下端面。

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