[实用新型]一种硅片生产用转移装置

权利要求书

1.一种硅片生产用转移装置，包括顶端开口的外箱体(7)，其特征在于，所述外箱体(7)的底端设有滚轮(6)，外箱体(7)的内部顶端设有顶端开口的内箱体(8)，内箱体(8)的内部设有多个垂直设置的泡沫隔板(9)，泡沫隔板(9)设有10至15个，泡沫隔板(9)均匀设置，外箱体(7)的底端内壁和内箱体(8)的底端外壁一侧均开有水平设置的限位槽(3)，限位槽(3)内滑动连接有限位块(2)，两个限位块(2)相互靠近的一侧侧壁上分别铰接有第一活动杆(4)和第二活动杆(5)，第一活动杆(4)与第二活动杆(5)呈X形结构，第一活动杆(4)与第二活动杆(5)的中间位置通过销轴转动连接，第一活动杆(4)与第二活动杆(5)的另一端铰接在内箱体(8)的底端外壁和外箱体(7)的底端内壁上，内箱体(8)的两侧外壁上均固定有三个水平设置的外筒体(13)，外筒体(13)的内部滑动连接有内筒体(14)，内筒体(14)的一端延伸至外筒体(13)的外部固定有垂直设置的滑块(16)，外箱体(7)的两侧内壁上均开有垂直设置的滑槽(15)，滑块(16)滑动连接在滑槽(15)内，外箱体(7)的顶端设有盖板(10)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用转移装置，其特征在于，所述限位块(2)的一侧侧壁上固定有水平设置的第一弹簧(1)，第一弹簧(1)远离限位块(2)的一端固定在限位槽(3)的侧壁上。

3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用转移装置，其特征在于，所述盖板(10)的底端固定有水平设置的橡胶板(11)，橡胶板(11)与内箱体(8)相互配合。

4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用转移装置，其特征在于，所述内筒体(14)的内部设有水平设置的第二弹簧(12)，第二弹簧(12)的两端分别固定在内箱体(8)和滑块(16)相互靠近的一侧侧壁上。

5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用转移装置，其特征在于，所述内筒体(14)远离滑块(16)的一侧外壁上设有四个阵列排布的固定块，外筒体(13)的内壁上开有四个水平设置的固定槽，固定块滑动连接在固定槽内。