[实用新型]加热插板阀

说明书

本实用新型涉及一种加热插板阀。包括：阀体，所述阀体上设置有连通阀体两侧的通道；插板，设于所述阀体上，用于开启或封闭所述通道；第一加热件，设于所述插板上；第二加热件，设于所述阀体上；以及测温件，至少设有两个，且分别设于所述插板和所述阀体上。本申请中的加热插板阀通过分别对插板和阀体进行加热，能够分别实现对插板和阀体的温度控制，且能够实现插板快速加热。本申请中的加热插板阀能够防止在派瑞林镀膜时，派瑞林气体在插板上冷凝，或在插板上沉积成膜，提高了插板的使用寿命。本申请中的加热插板阀在加热时，能够防止高温损坏插板内的电器元件。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备，特别是涉及一种加热插板阀。

背景技术

加热插板阀也叫加热门阀(heated gate valve)。在真空镀膜设备领域，用来截断气流，达到一侧保持真空，另一侧保持气压的作用。

现有的加热插板阀都是在阀体外包覆加热套，通过热传导向阀体内的零件，比如插板(也叫挡板、Gate板)，传递热量。因为阀体上装有驱动阀开关的电磁装置，为避免电磁装置在高温下受损，现有的加热插板阀的加热套的温度最高只能达到200℃，插板的最高温度只能达到105℃。

很多气体分子在低温下会吸附和冷凝在插板上，造成插板堵塞，插板阀不能开启到位和封闭到位。例如，在派瑞林镀膜的过程中，由于现有的加热插板阀的插板只能达到105℃，派瑞林二聚体(dimer)会凝结在插板上；派瑞林单体会在插板表面沉积形成派瑞林膜。这两者都会迅速导致插板不能开合到位，直至完全失效。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种加热插板阀。

一种加热插板阀，包括：

阀体，所述阀体上设置有连通阀体两侧的通道；

插板，设于所述阀体上，用于开启或封闭所述通道；

第一加热件，设于所述插板上；

第二加热件，设于所述阀体上；以及

测温件，至少设有两个，且分别设于所述插板和所述阀体上。

在其中一个实施例中，插板为工作时温度为t的金属板，50℃≤t≤250℃。

在其中一个实施例中，所述第二加热件以及测温件包覆在所述阀体外。

在其中一个实施例中，所述第一加热件设于所述插板内部或表面。

在其中一个实施例中，当所述第一加热件设于所述插板表面时，所述第一加热件直接固定在所述插板表面。

在其中一个实施例中，当所述第一加热件设于所述插板表面时，所述插板表面设置有凹槽，所述第一加热件嵌设在所述凹槽内。

在其中一个实施例中，所述第一加热件为加热丝，所述第一加热件在所述插板上呈凹凸布置的折线状。

在其中一个实施例中，所述测温件的测温部设于所述第一加热件围成的凹形区域内。

在其中一个实施例中，所述第一加热件为加热丝，所述第一加热件在所述插板上呈环形布置。

在其中一个实施例中，所述测温件为热电偶丝。

有益效果：本申请中的加热插板阀通过分别对插板和阀体进行加热，能够分别实现对插板和阀体的温度控制，且能够实现插板快速加热。本申请中的加热插板阀能够防止在派瑞林镀膜时，派瑞林气体在插板上冷凝，或在插板上沉积成膜，提高了插板的使用寿命。本申请中的加热插板阀在加热时，能够防止高温损坏插板内的电器元件。

附图说明

图1为本申请一个实施例中的加热插板阀的结构示意图；