[实用新型]一种靶材侧面槽切削刀具

说明书

本实用新型公开了一种靶材侧面槽切削刀具，包括刀柄和刀头，刀柄为方形柱体结构，刀头末端与刀柄顶端横向连接形成“L”形，刀头上表面前部开弧形槽，弧形槽与刀头前端面相交的棱为切削刃，在切削刃上固定连接精钢石材质的刀刃，刀刃与刀柄平行，刀头内侧面为台阶面状，依次分别为下台面、过渡面和上台面，上台面与刀柄内侧面相交。本实用新型即可用于在靶材外表面周向切削平齐槽，又可探入工件孔内，用于孔内壁开槽，其L型设置的刀柄与刀头可在孔内灵活切削，该刀具强度大，且切削效率高。

技术领域

本实用新型涉及一种靶材侧面槽切削刀具。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，是高速荷能粒子轰击的目标材料。随之进步芯片的多样化，溅射靶材乃是芯片制成一部分，随着芯片的变化而变化。溅射靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制。部分溅射靶材要求在产品侧面要求开槽处理，其主要起密封作用，相对尺寸、外观要求极高，通过现有的数控车床刀具无法加工此槽面。同时因普通车刀以车削面与圆为主，侧面切槽需要设计刀具形状因产品要求而定，必要时需定制角度。通常刀具仅能实现对靶材外圆面的切削，而对内圆面需要更换刀具，造成工序耗时过大。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种既可实现靶材侧面切槽，又可对材料孔内灵活开槽的靶材侧面槽切削刀具。

本实用新型为达到上述目的，具体通过以下技术方案得以实现的：

一种靶材侧面槽切削刀具，包括刀柄和刀头，刀柄为方形柱体结构，刀头末端与刀柄顶端横向连接形成“L”形，刀头上表面前部开弧形槽，弧形槽与刀头前端面相交的棱为切削刃，在切削刃上固定连接精钢石材质的刀刃，刀刃与刀柄平行，刀头内侧面为台阶面状，依次分别为下台面、过渡面和上台面，上台面与刀柄内侧面相交。

进一步地，刀头外侧为刀头外端面，刀头外端面与上台面互为背面，刀头外端面与刀头前端面之间具有一阶梯状缺口面形成第二过渡面。

进一步地，刀柄为钨钢材质。

进一步地，下台面的纵向长度为2～5mm。

进一步地，弧形槽的弧形半径为1～3mm。

本实用新型即可用于在靶材外表面周向切削平齐槽，又可探入工件孔内，用于孔内壁开槽，其L型设置的刀柄与刀头可在孔内灵活切削；其刀头内侧设置的过渡面和多个刀面可加强的刀头强度且不妨碍刀头切削动作。本实用新型使用钨钢作为刀柄，刀刃使用精钢石材质，切削效果较为光亮，方可满足客户需求。刀尖刃口尺寸设计及其重要直接对产品精度造成影响。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图中，1、刀柄；11、第一侧面；12、内侧面；2、刀头；21、上台面；22、过渡面；23、下台面；24、刀头前端面；25、弧形槽；26、切削刃；27、刀刃；28、第二过渡面。

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，本实用新型的一种靶材侧面槽切削刀具，包括刀柄1和刀头2，刀柄1为方形柱体结构，刀头2末端与刀柄1顶端横向连接形成“L”形，刀头2上表面前部开弧形槽25，弧形槽25与刀头前端面24相交的棱为切削刃26，在切削刃26上固定连接精钢石材质的刀刃27，刀刃27与刀柄1平行，刀头2内侧面为台阶面状，依次分别为下台面23、过渡面22和上台面21，上台面21与刀柄内侧面12相交。