[实用新型]一种热交换法生长晶体管的模具有效
| 申请号： | 201920190706.7 | 申请日： | 2019-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN209741303U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 薛艳艳;徐军;吴锋;徐晓东;李东振;王东海;王庆国 | 申请（专利权）人： | 南京同溧晶体材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 32341 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 沈振涛<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶体管 坩埚 本实用新型 保护气体 热交换法 生长区 生长 模具 空心圆柱体结构 简化加工程序 晶体利用率 可拆卸安装 退火 尺寸可控 加热功率 流量控制 炉内环境 整个结构 直接生长 轴线设置 坩埚中心 抽真空 传统的 凸字形 籽晶区 倒置 上端 底端 化料 装炉 取出 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种热交换法生长晶体管的模具，其特征在于：所述模具为倒置的凸字形空心圆柱体结构坩埚(1)，所述坩埚(1)底端为籽晶区(4)，上端为晶体管生长区(3)和圆柱体(2)；所述圆柱体(2)沿所述坩埚(1)中心轴线设置在整个结构的中间，所述晶体管生长区(3)设置在圆柱体(2)、坩埚(1)之间；所述圆柱体(2)可拆卸安装在坩埚(1)内。
2.根据权利要求1所述的一种热交换法生长晶体管的模具，其特征在于：所述坩埚(1)的内径为所述晶体管的外径尺寸，所述圆柱体(2)的直径为所述晶体管的内径尺寸。
3.根据权利要求1所述的一种热交换法生长晶体管的模具，其特征在于：所述坩埚(1)内径为50-210mm；所述圆柱体(2)直径为20-200mm，高度为240-270mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京同溧晶体材料研究院有限公司，未经南京同溧晶体材料研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920190706.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
