[实用新型]一种晶圆缺陷测试仪的光路微调装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆缺陷测试仪的光路微调装置，涉及半导体技术领域，该光路微调装置利用三个方向的千分尺带动三个移动平台在三个方向移动，从而微调夹具夹持的光路组件至所需的位置对调制光源进行光学特性的调整，该光路微调装置无需借助外部工具就能方便准确的调节光路组件的位置，调试方便且精度高，有利于提高晶圆缺陷测试仪的检测成功率。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是一种晶圆缺陷测试仪的光路微调装置。

背景技术

晶圆缺陷测试仪是晶圆参数测量仪中的一种，主要针对半导体晶片的表面缺陷进行检查分析，包括划伤和图形缺陷等，其工作原理为：晶圆缺陷测试仪利用调制光源扫描半导体晶片的表面，获取微观图像，并和存储的正常图像进行比对，快速运算从而迅速获得半导体晶片的表面缺陷的大小和位置等信息，并快速统计每一种缺陷的数量和相应的缺陷尺寸，根据统计数据生成表面缺陷分布图和检测报告。

晶圆缺陷测试仪通过光路组件对调制光源进行聚焦、偏振等特性的调整，根据调节作用的不同，光路组件包括但不限于各类透镜、偏振片、分束镜和反射镜等，这些光学特性的调整结果直接影响到成像的质量，对表面缺陷的识别的成功率有重要影响。当前缺陷测试仪通过手动旋转螺丝来调节光路组件的位置，从而调整聚焦、偏振等特性，因而存在如下问题：手动旋转螺丝精度差，调试时间长，而且需要借助外部工具，调试不方便。

实用新型内容

本发明人针对上述问题及技术需求，提出了一种晶圆缺陷测试仪的光路微调装置，该光路微调装置无需借助外部工具就能方便准确的调节光路组件至所需的位置对调制光源进行光学特性的调整，调试方便且精度高，有利于提高晶圆缺陷测试仪的检测成功率。

本实用新型的技术方案如下：

一种晶圆缺陷测试仪的光路微调装置，晶圆缺陷测试仪包括调制光源和待测的半导体晶片，其特征在于，光路微调装置包括：底座、X轴千分尺、Y轴千分尺、Z轴千分尺、至少两个弹簧、Y轴移动平台、X轴移动平台、载具台、夹具以及晶圆缺陷测试仪中的光路组件；

底座的侧边开设有Z轴方向的导轨，底座上还固定有至少两个弹簧，至少两个弹簧均匀分布在底座上，Y轴移动平台设置在弹簧上并置于Z轴方向的导轨中，至少两个弹簧支撑Y轴移动平台，Z轴千分尺固定在底座上并沿着Z轴方向设置，Z轴千分尺的螺杆连接并带动Y轴移动平台沿着Z轴方向的导轨运动；

Y轴移动平台的表面开设有Y轴方向的导轨，X轴移动平台设置在Y轴移动平台上并置于Y轴方向的导轨中，Y轴千分尺固定在Y轴移动平台的表面并沿着Y轴方向设置，Y轴千分尺的螺杆连接并带动X轴移动平台沿着Y轴方向的导轨运动；

X轴移动平台的表面开设有X轴方向的导轨，载具台设置在X轴移动平台上并置于X轴方向的导轨中，X轴千分尺固定在X轴移动平台的表面并沿着X轴方向设置，X轴千分尺的螺杆连接并带动载具台沿着X轴方向的导轨运动；

夹具固定在载具台的表面，夹具夹持晶圆缺陷测试仪中的光路组件，光路组件位于调制光源至待测的半导体晶片的光路上。

本实用新型的有益技术效果是：

本申请公开了一种晶圆缺陷测试仪的光路微调装置，该光路微调装置利用三个方向的千分尺带动三个移动平台在三个方向移动，从而微调夹具夹持的光路组件至所需的位置对调制光源进行光学特性的调整，该光路微调装置无需借助外部工具就能方便准确的调节光路组件的位置，调试方便且精度高，有利于将光路组件调整至使调制光源的光学特性最优的位置，从而有利于得到更高的成像质量、提高晶圆缺陷测试仪的检测成功率。

附图说明

图1是本申请公开的晶圆缺陷测试仪的光路微调装置的侧视图。

图2是本申请公开的晶圆缺陷测试仪的光路微调装置的俯视图。