[实用新型]一种能自动泄压的单晶炉炉盖

说明书

本实用新型涉及晶体生产设备领域，具体涉及一种能自动泄压的单晶炉炉盖，一种能自动泄压的单晶炉炉盖，具有炉盖基体，包括设置在炉盖基体上的压力传感器和泄气阀门，所述压力传感器与泄气阀门电控柜电连接，所述炉盖基体下方还设有防火闸板。本单晶炉炉盖可根据炉内的压力自动判别是否需要泄压，保护单晶炉设备的同时也保障了工作人员的生命安全。

技术领域

本实用新型涉及晶体生产设备领域，具体涉及一种能自动泄压的单晶炉炉盖。

背景技术

在单晶硅棒的生产过程中，通常需要充入氩气等惰性气体进行保护，惰性气体化学性质稳定，即使是在高温环境中，压强变化幅度也不大。但是由于单晶炉的老化，人为操作不当等原因，经常会在充入惰性气体的时候混杂其他气体或者将其他气体误当做惰性气体充入单晶炉内。然而单晶炉内本身压力就不低，受热膨胀后的更是会有发生爆炸的危险，这就不仅仅是生产设备的损失，更是对工作人员生命健康造成威胁。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：针对上述缺陷，提供一种能自动泄压的单晶炉炉盖。

一种能自动泄压的单晶炉炉盖，具有炉盖基体，包括设置在炉盖基体上的压力传感器和泄气阀门，所述压力传感器与泄气阀门电控柜电连接，所述炉盖基体下方还设有防火闸板。

在上述的单晶炉炉盖中，压力传感器收集炉内压力信号，当炉内压力信号超过警戒阈值时，与压力传感器连接的电控柜就控制泄气阀门打开，从而散出单晶炉内的气压。同时，防火闸板关闭，防止继续加热产生危险。

作为本实用新型更进一步的改进，所述炉盖基体顶部设有两窥视孔。窥视孔方便操作人员观察炉内情况，也可以供操作人员取得单晶硅棒的直径信号。

作为本实用新型更进一步的改进，所述炉盖基体上还设有一氩气口。该氩气口用于给单晶炉充入氩气等惰性气体。

作为本实用新型更进一步的改进，所述防火闸板所用材料为石棉。石棉材料防火隔热性能好，能有效阻止对上炉气体继续加热。

作为本实用新型更进一步的改进，所述电控柜上设有警报灯。当压力超过警戒阈值时，警报灯亮起，提醒工作人员注意安全。

本实用新型的有益效果是：本单晶炉炉盖可根据炉内的压力自动判别是否需要泄压，保护单晶炉设备的同时也保障了工作人员的生命安全。

附图说明

通过下面结合附图的详细描述，本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。

图1为本实用新型的结构示意图。

其中：1.炉盖基体，2.压力传感器，3.泄压阀门，4.电控柜， 5.防火闸板，6.窥视孔，7.氩气口，8.警报灯。

具体实施方式

以下依据本实用新型的理想实施例为启示，通过以下的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

参考图1对本实用新型进行进一步地说明：如图1所示，一种能自动泄压的单晶炉炉盖，具有炉盖基体1，包括设置在炉盖基体1上的压力传感器2和泄气阀门3，所述压力传感器2与泄气阀门 3电控柜4电连接，所述炉盖基体1下方还设有用石棉制成的防火闸板5。炉盖基体1顶部设有两窥视孔6。炉盖基体1上还设有一氩气口7。所述电控柜4上设有警报灯8。

在上述的一种能自动泄压的单晶炉炉盖中，压力传感器收集炉内压力信号，当炉内压力信号超过警戒阈值时，与压力传感器连接的电控柜就控制泄气阀门打开，从而散出单晶炉内的气压。同时，防火闸板关闭，防止继续加热产生危险。当压力超过警戒阈值时，警报灯亮起，提醒工作人员注意安全。在使用单晶炉时可以通过氩气口充入氩气灯惰性气体。