[实用新型]一种分体式工艺载板及应用其的真空镀膜装置

说明书

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种分体式工艺载板及应用其的真空镀膜装置。其中一种分体式工艺载板，包括石墨载板，石墨载板由多个石墨载板单元拼接构成；每两相邻的石墨载板单元的拼接处均设有相互匹配的拼接结构。拼接结构包括分别设置于相邻两所述石墨载板单元上的上阶梯形连接边和下阶梯形连接边；上阶梯形连接边和下阶梯形连接边叠加拼合后的厚度与所述相邻两个石墨载板单元的厚度相等。拼接结构还包括：多个石墨螺钉；多个石墨螺钉间隔设置于相邻两所述石墨载板单元的上阶梯形连接边、下阶梯形连接边上。本实用新型提供的分体式工艺载板在真空镀膜装置中具有不受水平传输轮的空间限制，能够很方便地实现垂直方向的位移。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种分体式工艺载板及应用其的真空镀膜装置。

背景技术

工艺载板的材质必须能够耐高温烘烤，导热性能好，强度高，变形小，不与工艺气体反应的性能要求，通常使用石墨材质。为了保证膜片快速加热、快速降温等工艺要求，工艺载板的厚度不能过厚，同时又要满足强度要求。

根据工艺需求，工艺载板在真空腔室中水平和竖直方向都需要运动。水平运动通过真空腔室的水平传输轮实现。载板竖直方向的运动需要通过升降机构完成。由于水平传输轮不仅起到水平传输的作用，同时也有支撑的作用。因此工艺载板在竖直方向运动时，会受到水平传输轮的限制。通常的解决方案是在真空腔室两侧增加伸缩机构和动密封结构，水平传输轮向两侧收缩，让出工艺载板上下传输需要的空间，载板可以竖直传动。这种方式虽然能够解决载板竖直传输的问题，但是传输机构相对复杂，不利于真空腔室的维护。此外该种传输方式只能在竖直方向上的一层进行水平传动，虽然能竖直移动到其他层，但是不能在该层进行水平传动。

提高工艺腔室的生产效率，降低膜片成本。则需要设计更大尺寸的工艺载板，工艺载板的尺寸又受到原料尺寸，静力变形等因素的影响，无法设计过大的尺寸。同时工艺载板在真空腔室中垂直方向的传输受空间、结构等因素的限制导致生产效率低。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

针对现有存在的技术问题，本实用新型提供一种分体式工艺载板及应用其的真空镀膜装置，解决了现有技术中工艺载板无法设计过大的尺寸以及工艺载板在真空腔室中垂直方向的传输受空间、结构等因素的限制不便传输，导致镀膜生产效率低的技术问题。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

一种分体式工艺载板，包括石墨载板，所述石墨载板由多个石墨载板单元拼接构成；

每两相邻的石墨载板单元的拼接处均设有相互匹配的拼接结构。

优选地，所述拼接结构包括分别设置于相邻两所述石墨载板单元上的上阶梯形连接边和下阶梯形连接边；

所述上阶梯形连接边和下阶梯形连接边叠加拼合后的厚度与所述相邻两个石墨载板单元的厚度相等。

优选地，所述拼接结构还包括：多个石墨螺钉；

所述多个石墨螺钉间隔设置于相邻两所述石墨载板单元的上阶梯形连接边、下阶梯形连接边上。

优选地，叠加拼合后位于上层的所述上阶梯形连接边上设有沉头孔；

叠加拼合后位于下层的所述下阶梯形连接边上设有与所述沉头孔位置相对应的螺纹孔，各所述石墨螺钉分别穿过一组所述沉头孔、螺纹孔，将相邻两所述石墨载板单元相连接。

优选地，所述石墨载板单元共四个，所述各石墨载板单元相互拼接的中心位置的边角均为突出的90度直角的形状。

优选地，还包括石英框，所述石墨板置于所述石英框的框内。

优选地，所述石英框包括方形边框和框底加强筋；