[实用新型]一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟有效
申请号: | 201920151258.X | 申请日: | 2019-01-29 |
公开(公告)号: | CN209906876U | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 刘汝强;王殿春;孙蕾;赵旭荣;吴思华 | 申请(专利权)人: | 山东国晶新材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/01 | 分类号: | C23C16/01;C23C16/44;C23C16/34 |
代理公司: | 37219 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈桂玲 |
地址: | 251200 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨盘 底座 夹具 孔洞 本实用新型 装炉 热解氮化硼 均匀设置 螺纹连接 生产设备 波浪状 进气孔 炉内 模具 保证 | ||
1.一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟,其特征在于,包括石墨盘、底座和用于约束舟模具的夹具,所述石墨盘固定于炉内的平面上,所述石墨盘为圆盘,所述石墨盘的中部设置有进气孔,所述石墨盘上均匀设置有多个第一孔洞,一个底座固定于一个第一孔洞内,所述底座上方螺纹连接所述夹具。
2.根据权利要求1所述的装炉方式稳定的热解氮化硼舟,其特征在于,所述夹具上设置有上下两个第一螺栓孔,所述舟模具上设置有与所述第一螺栓孔相配合的第二螺栓孔,第一螺栓孔与第二螺栓孔之间采用螺栓连接。
3.根据权利要求1所述的装炉方式稳定的热解氮化硼舟,其特征在于,多个第一孔洞均匀分布于所述石墨盘的圆周内部。
4.根据权利要求3所述的装炉方式稳定的热解氮化硼舟,其特征在于,所述石墨盘的直径为300~800mm,厚度为1~100mm,所述第一孔洞均为圆孔,圆孔的直径为20~200mm,所述第一孔洞的数量为1~10个。
5.根据权利要求3所述的装炉方式稳定的热解氮化硼舟,其特征在于,所述底座包括一圆柱座,所述圆柱座下方设置有一圆柱凸起,所述圆柱凸起的尺寸与所述第一孔洞的尺寸相匹配,所述圆柱座的直径大于所述第一孔洞的直径,安装时,底座的圆柱凸起插入第一孔洞内,所述圆柱座上设置有多个第一固定孔,所述石墨盘上沿所述第一孔洞周围设置有与所述第一固定孔相配合的第二固定孔,第一固定孔与第二固定孔之间采用石墨螺栓固定。
6.根据权利要求5所述的装炉方式稳定的热解氮化硼舟,其特征在于,所述第一固定孔和第二固定孔的数量相同,均为至少2个。
7.根据权利要求5所述的装炉方式稳定的热解氮化硼舟,其特征在于,所述圆柱座上方设置有连接管,所述连接管呈圆柱状,所述连接管的中部设置有螺纹孔,内设有内螺纹,所述夹具底部设置有连接部,所述连接部设置有外螺纹,该外螺纹与连接管的内螺纹相配合。
8.根据权利要求7所述的装炉方式稳定的热解氮化硼舟,其特征在于,所述连接部的螺纹孔的直径为20~200mm。
9.根据权利要求7所述的装炉方式稳定的热解氮化硼舟,其特征在于,所述第一固定孔和第二固定孔之间设置有石墨防护罩。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的