[实用新型]一种晶圆研磨装置有效
| 申请号： | 201920138948.1 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209565971U | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 王祖传;陈兴红;卢瑾;高媛;陈强 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和兴电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/27;B24B47/12;B24B47/20 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 支撑杆 支撑柜 研磨装置 电动机 支撑轴 种晶 本实用新型 液压伸缩杆 转动连接 固定槽 固定盘 研磨盘 有压 支撑杆顶部 加工效率 晶圆技术 内壁滑动 驱动轴 研磨槽 胶带 内壁 压块 贯穿 | ||
1.一种晶圆研磨装置，包括支撑柜(1)，其特征在于：所述支撑柜(1)内壁底部固定连接有电动机(2)，所述电动机(2)的驱动轴固定连接有支撑轴(3)，所述支撑轴(3)远离电动机(2)的一端贯穿支撑柜(1)并固定连接有研磨盘(4)，所述研磨盘(4)远离支撑轴(3)的一侧开设有研磨槽(5)，所述支撑柜(1)顶部一端固定连接有第一支撑杆(6)，所述第一支撑杆(6)顶部转动连接有第二支撑杆(7)，所述第二支撑杆(7)远离第一支撑杆(6)的一端固定连接有液压伸缩杆(8)，所述液压伸缩杆(8)底部固定连接有固定盘(9)，所述固定盘(9)底部开设有固定槽(10)，所述固定槽(10)内壁滑动连接有压块(11)，所述压块(11)顶部转动连接有压杆(12)，所述压杆(12)远离压块(11)的一端贯穿固定盘(9)并固定连接有转柄(13)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨装置，其特征在于：所述研磨槽(5)内壁放置有研磨垫(14)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨装置，其特征在于：所述压杆(12)上开设有外螺纹并与固定盘(9)螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨装置，其特征在于：所述压块(11)底部固定连接有防护垫(15)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨装置，其特征在于：所述固定盘(9)顶部开设有研磨剂槽孔(16)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨装置，其特征在于：所述固定盘(9)上开设有至少六个固定槽(10)。
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