[实用新型]一种适用于不同晶舟的检测装置有效
申请号: | 201920136658.3 | 申请日: | 2019-01-25 |
公开(公告)号: | CN209590211U | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 胡辉 | 申请(专利权)人: | 福建省福联集成电路有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 徐剑兵;林祥翔 |
地址: | 351117 福建省莆*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 顶针 晶舟 旋钮 夹板 传感装置 检测装置 升降夹板 挤压 本实用新型 伸缩杆 弹簧 压入 轴肩 收缩 检测 移动 | ||
1.一种适用于不同晶舟的检测装置,其特征在于:包括升降夹板、调节顶针和传感装置;
所述调节顶针包括调节旋钮,所述调节旋钮设置在调节顶针的一端,调节顶针的中部设置有轴肩;
所述升降夹板包括第一夹板、第二夹板和伸缩杆,所述伸缩杆设置在第一夹板和第二夹板之间,所述调节旋钮贯穿第一夹板设置,所述调节顶针的另一端贯穿第二夹板设置,所述轴肩位于第一夹板与第二夹板之间,且所述轴肩与第二夹板之间的调节顶针套设有弹簧,调节旋钮用于调整调节旋钮伸出第一夹板的长度,
所述传感装置设置在调节顶针的另一端的一侧上,所述传感装置用于检测调节顶针是否受到晶舟的挤压移动。
2.根据权利要求1所述的一种适用于不同晶舟的检测装置,其特征在于:所述调节旋钮的一端面设置有空腔,所述空腔内设置有内螺纹。
3.根据权利要求2所述的一种适用于不同晶舟的检测装置,其特征在于:所述调节顶针的一端外侧面设置有外螺纹,所述内螺纹与外螺纹相互旋合设置。
4.根据权利要求1所述的一种适用于不同晶舟的检测装置,其特征在于:还包括固定螺栓,所述固定螺栓贯穿调节旋钮的空腔底面设置在调节顶针的一端面内。
5.根据权利要求1所述的一种适用于不同晶舟的检测装置,其特征在于:所述传感装置包括传感器和底座,所述底座的一侧面设置有检测端口,传感器设置在检测端口内,所述底座的检测端口位于调节顶针另一端朝向的正面上。
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