[实用新型]热弧蒸发多腔体纳米粉体制备装置

权利要求书

1.热弧蒸发多腔体纳米粉体制备装置，其特征在于，设置至少两个主腔室粉体生成单元；

各主腔室粉体生成单元分别通过各自真空支管道(14)连接到真空主管道(13)，真空主管道连接到真空泵组系统(17)；

各主腔室粉体生成单元分别通过各自排气支管道(4)连接到排气主管道(2)，各主腔室粉体生成单元分别通过各自进气支管道(7)连接到进气主管道(3)；

各主腔室粉体生成单元分别通过各自热弧控制信号线和各自送料控制信号线连接到弧电源及控制系统(1)；

所述主腔室粉体生成单元包括主腔室(9)、热弧装置(6)，所述主腔室顶部设置有热弧装置，主腔室底部设置有收集室(18)，所述热弧装置包括设置于主腔室顶部并伸入主腔室内部的阴极(26)、控制阴极在三个方向移动的阴极控制装置；

所述阴极下方正对位置设置阳极(31)，所述阳极后端设置自动送料装置(10)控制阳极送料，所述阳极前端设置冷却水装置以冷却阳极。

2.根据权利要求1所述的热弧蒸发多腔体纳米粉体制备装置，其特征在于，所述各真空支管道上分别设置有真空阀(11)，所述各排气支管道上分别设置有排气阀(5)，所述各进气支管道上分别设置有进气阀(8)。

3.根据权利要求1所述的热弧蒸发多腔体纳米粉体制备装置，其特征在于，所述阴极控制装置包括支撑棒固定装置(35)、电弧传导装置(36)、球形补偿器(37)、支撑棒(38)、阴极夹持装置(39)，所述支撑棒固定装置(35)通过刚性连接方式与支撑棒(38)和球形补偿器(37)连接，电弧传导装置(36)分布于支撑棒(38)内部，在支撑棒末端通过阴极夹持装置(39)夹持阳极(31)以引出电弧。

4.根据权利要求1所述的热弧蒸发多腔体纳米粉体制备装置，其特征在于，所述阳极前端设置冷却水装置，所述冷却水装置包括支承基座(22)、冷却水管(23)、冷却槽(24)，冷却槽(24)分布于支承基座(22)内部，冷却水管(23)与支承基座(22)相连，冷却水通过冷却水管(23)进入冷却槽(24)循环流动。

5.根据权利要求1所述的热弧蒸发多腔体纳米粉体制备装置，其特征在于，所述主腔室设置为冷却水循环的冷却壁(20)。

6.根据权利要求1所述的热弧蒸发多腔体纳米粉体制备装置，其特征在于，所述收集室上端通过碟阀(28)与主腔室连接，所述收集室另一端连接有过渡仓，所述收集室上还设置有观察窗和收集手套。