[实用新型]一种扩散泵

说明书

本实用新型公开了一种扩散泵，包括一结构主体，其特征在于，所述结构主体包括泵体及设于泵体外部的冷水层，所述冷水层内设有冷却管道，所述冷却管道缠绕于所述泵体上，所述泵体底部设有油腔，所述所述油腔底部设有加热装置，所述加热装置设有加热柱，所述加热柱穿透于所述油腔内部，所述加热装置上部设有泵芯，所述泵芯上设有喷嘴；本实用新型便于观察油腔油位，通过加热柱与冷却管道的设置，大大提高了冷却效果与加热速度，进而提高了抽气效率。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及一种扩散泵。

背景技术

扩散泵是目前获得高真空的最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵，扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度(约为200度)时产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出，由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强，这样，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁，经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩，最后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。扩散泵在使用过程中，加热和冷却是形成高速蒸汽射流与油液体之间循环的动力，热源不足会形成高速蒸汽射流不够影响抽气效率，而冷却不够也会对蒸汽产生冷凝不及时，影响油蒸汽与气体分离，同样影响真空度。在很多场合中，采用电风扇直接风吹真空油扩散泵的弯头部位，来改善扩散泵局部位置的冷却，提高抽气效率，采用电风扇直接吹冷的制冷效果不是很理想，会直接影响蒸汽与气体的分离，影响真空度。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种扩散泵。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种扩散泵，包括一结构主体，其特征在于，所述结构主体包括泵体及设于泵体外部的冷水层，所述冷水层内设有冷却管道，所述冷却管道缠绕于所述泵体上，所述泵体底部设有油腔，所述所述油腔底部设有加热装置，所述加热装置设有加热柱，所述加热柱穿透于所述油腔内部，所述加热装置上部设有泵芯，所述泵芯上设有喷嘴。

优选的，所述加热柱不少于一根。

优选的，所述泵体设有进气口与出气口。

优选的，所述出气口为“L”形结构，所述出气口设有挡雾器。

优选的，所述油腔外部设有油位观察窗。

优选的，所述喷嘴为伞形喷嘴。

本实用新型的有益效果是：通过油位观察窗的设置，便于观测油腔内的油量；通过在冷水层设置冷却管道，进一步提高了冷却效果，避免了因冷却不够而影响蒸汽产生冷凝不及时的情况发生，进而提高了抽气效率；通过加热柱的设置，且加热柱穿透于油腔内，提高了加热速度，与加热的均匀性，进而提高了抽气效率。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图中：1、加热装置；2、油位观察窗；3、油腔；4、加热柱；5、冷水层；6、泵体；7、进气口；8、喷嘴；9、泵芯；10、冷却管道；11、出气口；12、挡雾器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。