[实用新型]一种镀膜机用旋转装置

说明书

本实用新型公开了一种镀膜机用旋转装置，包括箱体、第一固定座、第二固定座、盒体以及固定杆，其特征在于，所述第一固定座安置于箱体上壁面，所述箱体上壁面开设有第一通孔，所述第一通孔位于第一固定座上方，所述第一通孔内安装有第一轴承，且与第一固定座相连接，所述第二固定座安置于箱体下壁面，所述盒体安置于箱体下壁面，本实用新型涉及镀膜机生产设备技术领域，解决了现有的真空镀膜装置中的旋转装置结构较为复杂，并且在转动时存在镀膜死角，造成材料镀膜不充分，并且现有的镀膜装置不具备集气功能，当一些有毒靶材镀膜完成打开仓体时，会散发一些有毒气体，工作人员长期处于这种环境中，会产生疾病的问题。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机生产设备技术领域，具体为一种镀膜机用旋转装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备，其中，镀膜的技术具有很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等，主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的对象被称为工件(或基片)，需要镀在工件上的材料被称为靶材，如硅靶、铌靶、铝靶、钛靶等。工件与靶材同在真空腔中，在真空条件下，通入一定气压的氩气，氩气在高电压(300-800V)电场作用下电离为氩离子，氩离子加速轰击靶材，从而将靶材材料溅射到工件表面，形成薄膜，

现有的真空镀膜装置中的旋转装置结构较为复杂，并且在转动时存在镀膜死角，造成材料镀膜不充分，并且现有的镀膜装置不具备集气功能，当一些有毒靶材镀膜完成打开仓体时，会散发一些有毒气体，工作人员长期处于这种环境中，会产生疾病，鉴于此，针对上述问题深入研究，遂有本案产生。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种镀膜机用旋转装置，解决了现有的真空镀膜装置中的旋转装置结构较为复杂，并且在转动时存在镀膜死角，造成材料镀膜不充分，并且现有的镀膜装置不具备集气功能，当一些有毒靶材镀膜完成打开仓体时，会散发一些有毒气体，工作人员长期处于这种环境中，会产生疾病的问题为实现以上目的，

本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种镀膜机用旋转装置，包括箱体、第一固定座、第二固定座、盒体以及固定杆，所述第一固定座安置于箱体上壁面，所述箱体上壁面开设有第一通孔，所述第一通孔位于第一固定座上方，所述第一通孔内安装有第一轴承，且与第一固定座相连接，所述第二固定座安置于箱体下壁面，所述盒体安置于箱体下壁面，所述盒体下壁面开设有一对结构相同的第二通孔，一对所述第二通孔内安装有一对结构相同的第二轴承，所述箱体下壁面以及盒体上壁面开设有一对结构相同的第三通孔，且位于一对所述第二通孔上方，一对所述第三通孔位于第二固定座下方，一对所述第三通孔内安装有一对结构相同的第三轴承，所述固定杆安置于第一固定座以及第二固定座之间，所述固定杆上安装有若干挂钩，所述箱体下方安装有旋转结构，所述箱体上方安装有集气装置；

所述旋转结构，其包括：伺服电机、第一齿轮、转杆以及第二齿轮；

所述伺服电机安置于箱体下壁面，所述第一齿轮安置于伺服电机驱动端，所述转杆一段安置于一对所述第二轴承内，所述转杆另一端安置于一对所述第三轴承内，且与第二固定座相连接，所述第二齿轮套装于转杆上，所述第一齿轮与第二齿轮相啮合；

所述集气结构，其包括：吸气管、气泵、排气管以及收集箱；

所述气泵安置于箱体上壁面，所述吸气管一端贯穿于箱体上壁面，所述吸气管另一端安置于气泵吸气孔内，所述排气管一端安置于气泵排气端，所述收集箱安置于箱体左侧，所述排气管另一端贯穿于收集箱内；

优选的，所述盒体与伺服电机之间安装有第三固定座：该第三固定座用于固定伺服电机。

优选的，所述伺服电机内安装有垫片：该垫片用于防止伺服电机发生串动损坏。

优选的，所述收集箱下壁面安装有承载板：该承载板用于承载收集箱。