[实用新型]一种晶圆的激光冷切装置有效

专利信息
申请号: 201920122669.6 申请日: 2019-01-24
公开(公告)号: CN209681421U 公开(公告)日: 2019-11-26
发明(设计)人: 王祖传;陈兴红;卢瑾;高媛;陈强 申请(专利权)人: 深圳市正和兴电子有限公司
主分类号: B23K26/14 分类号: B23K26/14;B23K26/38;B23K26/142
代理公司: 11427 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 陈娟<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 518000 广东省深圳市南山区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 激光切割 丝杆 箱内腔 本实用新型 顶端位置 对称设置 冷切装置 固定杆 箱上壁 种晶 电机 激光 激光切割设备 鼓风机 顶部位置 两端对称 切割过程 切割效率 上部位置 设备内部 外部位置 中部位置 转动连接 传统的 皮带轮 输出轴 晶圆 碎屑 烟气 粘附 切割 污染
【说明书】:

实用新型公开了一种晶圆的激光冷切装置,包括激光切割箱,所述激光切割箱上壁左右两端对称设置有电机,所述电机远离激光切割箱一侧输出轴顶端位置设置有第一皮带轮,所述激光切割箱上壁中部位置设置有鼓风机,所述激光切割箱内腔上部位置对称设置有丝杆,所述丝杆位于激光切割箱内腔顶部位置对称设置有固定杆,所述丝杆位于激光切割箱内腔顶端位置与固定杆转动连接,所述丝杆外部位置设置有调节块,本实用新型涉及晶圆激光切割设备技术领域,具体为一种晶圆的激光冷切装置,达到了解决传统的激光切割切割效率低下,同时切割过程产生污染的烟气,切割的碎屑由于高温容易粘附在设备内部不容易清理问题的目的。

技术领域

本实用新型涉及晶圆激光切割设备技术领域,具体为一种晶圆的激光冷切装置。

背景技术

激光切割是利用经聚焦的高功率密度激光束照射工件,使被照射的材料迅速熔化、汽化、烧蚀或达到燃点,同时借助与光束同轴的高速气流吹除熔融物质,从而实现将工件割开。激光切割属于热切割方法之一。

大多数有机与无机材料都可以用激光切割。在工业制造系统占有份量很重的金属加工业,许多金属材料,不管它是什么样的硬度,都可以进行无变形切割。当然,对高反射率材料,如金、银、铜和铝合金,它们也是好的传热导体,因此激光切割很困难,甚至不能切割。激光切割无毛刺、皱折、精度高,优于等离子切割。对许多机电制造行业来说,由于微机程序控制的现代激光切割系统能方便切割不同形状与尺寸的工件,它往往比冲切、模压工艺更被优先选用;尽管它加工速度还慢于模冲,但它没有模具消耗,无须修理模具,还节约更换模具时间,从而节省了加工费用,降低了生产成本,所以从总体上考虑是更合算的。

传统的激光切割切割效率低下,同时切割过程产生污染的烟气,切割的碎屑由于高温容易粘附在设备内部不容易清理。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种晶圆的激光冷切装置,解决传统的激光切割切割效率低下,同时切割过程产生污染的烟气,切割的碎屑由于高温容易粘附在设备内部不容易清理的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种晶圆的激光冷切装置,包括激光切割箱,所述激光切割箱上壁左右两端对称设置有电机,所述电机远离激光切割箱一侧输出轴顶端位置设置有第一皮带轮,所述激光切割箱上壁中部位置设置有鼓风机,所述激光切割箱内腔上部位置对称设置有丝杆,所述丝杆位于激光切割箱内腔顶部位置对称设置有固定杆,所述丝杆位于激光切割箱内腔顶端位置与固定杆转动连接,所述丝杆外部位置设置有调节块,所述激光切割箱内腔且位于丝杆上部位置设置有滑竿,所述滑竿外壁位置设置有滑块,所述调节块上部外壁位置固定连接有第一连接杆,所述第一连接杆位于滑块一端与滑块固定连接,所述调节块底部位置固定连接有第二连接杆,所述固定杆底部位置固定连接有挡板,所述第二连接杆贯穿挡板底部位置固定连接有激光切割头,所述激光切割箱中部位置设置有通气管,所述通气管位于挡板下部位置固定连接有出气头,所述激光切割箱内腔靠近中部位置设置有固定框,所述固定框上部位置对称设置有固定台,所述固定台上壁位置设置有固定架,所述激光切割箱内腔底部位置设置有收纳箱。

优选的,所述激光切割箱左右两侧外壁靠近中部位置对称设置有抽气泵,所述抽气泵出气口通过导管连通有空气净化箱。

优选的,所述收纳箱左侧上部位置设置有进水口,所述收纳箱右侧底部位置设置有出水口。

优选的,所述丝杆位于激光切割箱外部一端固定连接有第二皮带轮,所述第一皮带轮和第二皮带轮通过皮带传动连接。

优选的,所述电机外部位置设置有密封罩,所述激光切割箱底部位置设置有滚轮。

优选的,所述固定框位于固定台外部为镂空结构。

(三)有益效果

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