[实用新型]基于热释电效应的电场驱动式微滴喷射装置

权利要求书

1.一种基于热释电效应的电场驱动式微滴喷射装置，其特征在于：包括喷射喷头（1）、供料装置（2）、电源（3）、二维运动平台（4）、Z向运动平台（5）、工作平台（6）、基板工作台（7）及控制单元；所述的喷射喷头（1）包括储料筒（101）、喷嘴（102）、热释电晶体环（104）、加热环（105）及壳体；该储料筒（101）下方设置有所述的喷嘴（102），该喷嘴为锥形；该热释电晶体环（104）为环形结构，并安装在所述壳体上且位于所述喷嘴（102）的正下方；该加热环（105）位于所述热释电晶体环（104）的外周，并对热释电晶体环进行加热；该壳体套固在所述储料筒（101）外侧；所述喷射喷头（1）固定于所述Z向运动平台（5）上且其储料筒（101）与所述供料装置（2）相通，所述电源（3）通过导线与该喷射喷头（1）的加热环（105）连接；所述的二维运动平台（4）和Z向运动平台（5）均固定在所述工作平台（6）上，所述基板工作台（7）设置于该二维运动平台（4）上；所述控制单元与供料装置（2）、电源（3）、二维运动平台（4）和Z向运动平台（5）相连接。

2.根据权利要求1所述的基于热释电效应的电场驱动式微滴喷射装置，其特征在于：所述的二维运动平台（4）包括X轴运动平台（401）和Y轴运动平台（402），分别由X轴电机（403）和Y轴电机（404）驱动；所述Z向运动平台（5）设有运动平板（501）并由Z轴电机（503）驱动，所述喷射喷头（1）固定在该运动平板（501）上。

3.根据权利要求1所述的基于热释电效应的电场驱动式微滴喷射装置，其特征在于：所述的储料筒（101）轴线上设置有一内芯（112），该内芯的下端从所述的喷嘴（102）伸出，并位于所述热释电晶体环（104）的正上方。

4.根据权利要求1所述的基于热释电效应的电场驱动式微滴喷射装置，其特征在于：所述的热释电晶体环（104）为锥形环。

5.根据权利要求1所述的基于热释电效应的电场驱动式微滴喷射装置，其特征在于：所述的储料筒（101）内设置有电极（103）；所述的热释电晶体环（104）的外环面也设置有导电电极，该导电电极通过导线与所述电极（103）连接；所述的储料筒（101）与喷嘴（102）之内与外界绝缘。

6.根据权利要求5所述的基于热释电效应的电场驱动式微滴喷射装置，其特征在于：所述的储料筒（101）上方设置有贯穿储料筒内外的横梁（106），该横梁内设置有连通储料筒（101）内外的中空结构，所述电极（103）固定在该横梁（106）上，并连接一接线端Ⅰ由中空结构伸出到外部；所述热释电晶体环（104）外环面设置的导电电极与该接线端Ⅰ之间设有连接二者的导线。

7.根据权利要求6所述的基于热释电效应的电场驱动式微滴喷射装置，其特征在于：所述储料筒（101）的横梁（106）上固定有一内芯（112），该内芯与储料筒（101）的轴线重合；而该内芯（112）的下端从所述的喷嘴（102）伸出，并位于所述热释电晶体环（104）的正上方。

8.根据权利要求1所述的基于热释电效应的电场驱动式微滴喷射装置，其特征在于：所述的壳体包括内壳（107）、连接套筒（108）及支撑部（109）；该内壳（107）紧配合的套固在所述储料筒（101）外侧，该连接套筒（108）套在该内壳（107）外侧并与该内壳（107）螺纹连接；该支撑部（109）通过螺钉（113）固定在该连接套筒（108）下方；该支撑部（109）中间内侧设有环形槽（110），所述的热释电晶体环（104）及加热环（105）安装在该环形槽（110）之内。

9.根据权利要求8所述的基于热释电效应的电场驱动式微滴喷射装置，其特征在于：进一步的设置有一环形隔热层（111），该隔热层的环形内侧设有环形凹槽，所述的加热环（105）镶在该环形凹槽内，所述的热释电晶体环（104）装在该隔热层（111）内侧。

10.根据权利要求9所述的基于热释电效应的电场驱动式微滴喷射装置，其特征在于：所述的热释电晶体环（104）为锥形环，所述的支撑部（109）的环形槽（110）与环形隔热层（111）内环面为锥形环面，该锥形环状的热释电晶体环（104）装在隔热层（111）和支撑部（109）共同撑起的锥形环面上。