[实用新型]一种热电偶出炉密封结构

说明书

本实用新型公开一种热电偶出炉密封结构，热电偶为若干个，每个热电偶丝外部套有氧化铝两孔绝缘管，氧化铝两孔绝缘管外部套有氧化铝保护套管，且分成两部分，一部分在高温化学气相沉积炉内，一部分在高温化学气相沉积炉外，中间通过热电偶丝出炉金属连接件连接，热电偶丝出炉连接件的外部嵌套一硅胶套件，硅胶套件内表面与热电偶丝出炉金属连接件接触，外表面与一带有阶梯圆槽孔的金属圆板接触并压紧。本实用新型可以很好的保证绝缘性和炉体在热电偶出炉处的密封性。

技术领域

本实用新型涉及一种热电偶出炉密封结构。

背景技术

热电偶是由两种成分不同的均质导体组成闭合回路，在温度梯度下，由热能转换成电能 (热电势)，利用这种热电现象来测量温度。热电偶的特点与常见的灯泡很相似，把热电偶丝比作灯丝，保护管比作灯泡的玻璃外壳。灯泡的灯丝只能在真空中或惰性气体中才能正常发光，一旦灯泡的气密性变差或玻璃外壳破坏，接通电源的灯丝会立即被氧化。而热电偶一般在真空、氢气、氮气等惰性气体保护氛围中使用，一旦接触氧气将被迅速氧化，因此炉体的气密性是其很重的考量。

专利《一种热电偶连接装置》(CN 206695919 U)包括热电偶、连接管等，所述连接管内部包含聚丙烯卡环槽，其上均匀分布齿槽，聚丙烯卡环外部均匀分布卡环外齿，齿槽与外齿相啮合，卡环外齿插入齿槽中。连接管与支撑卡环连接，支撑卡环由上支撑拉杆和下支撑拉杆组成，支撑卡环中部具有热电偶轴插台，上支撑拉杆、下支撑拉杆与热电偶轴插台连接，所述热电偶轴插台内部具有插台内孔，所述热电偶轴插台外部具有曲型弧面头，所述连接管内部具有流动腔，所述上支撑拉杆顶部与聚丙烯卡环热熔连接，下支撑拉杆底部与聚丙烯卡环热熔连接，聚丙烯卡环顶部具有卡环通孔。该专利所涉及的结构需要占据比较大的空间，对于高温化学气相沉积炉而言，其可操作空间为发热体和瓷瓦砖之间的20mm缝隙内，该种结构不适合此种方式固定。除此之外，密封方式采用热熔连接，不便于拆卸更换。

实用新型内容

为解决以上现有技术存在的问题，本实用新型提出一种热电偶出炉密封结构。

本实用新型可通过以下技术方案予以解决：

本实用新型的一种热电偶出炉密封结构，所述热电偶为若干个，每个热电偶丝外部套有氧化铝两孔绝缘管，所述氧化铝两孔绝缘管外部套有氧化铝保护套管，且分成两部分，一部分在高温化学气相沉积炉内，一部分在高温化学气相沉积炉外，中间通过热电偶丝出炉金属连接件连接，所述热电偶丝出炉连接件的外部嵌套一硅胶套件，所述硅胶套件内表面与所述热电偶丝出炉金属连接件接触，外表面与一带有阶梯圆槽孔的金属圆板接触并压紧。

作为本实用新型的优选实施例，所述其中一部分热电偶丝的一端插入所述热电偶丝出炉金属连接件的孔内，并用螺母夹紧，所述其中另一部分热电偶丝的一端放入所述热电偶丝出炉金属连接件上的两个螺母之间并夹紧。

作为本实用新型的优选实施例，所述热电偶丝出炉连接件通过硅胶套件固定于所述高温化学气相沉积炉法兰上，且所述带有阶梯圆槽孔的金属圆板和所述高温化学气相沉积炉法兰之间设有一垫片，所述带有阶梯圆槽孔的金属圆板另一端通过另一垫片与一圆孔金属圆板连接。

作为本实用新型的优选实施例，所述垫片的厚度为10mm，其材质可为硅胶或者聚四氟乙烯。

作为本实用新型的优选实施例，所述圆孔金属圆板和热电偶丝出炉金属连接件之间的间隙注入耐高温硅酮密封胶。

作为本实用新型的优选实施例，所述高温化学气相沉积炉内设有三个热电偶，所述三个热电偶整体呈倒“L”型。

作为本实用新型的优选实施例，所述三个热电偶位于所述高温化学气相沉积炉的发热体和瓦片砖之间的缝隙内，该缝隙的宽度为20mm-50mm。