[实用新型]一种槽体

说明书

本实用新型属于太阳能电池技术领域，公开了一种槽体。该槽体包括本体及设置于本体的上端开口处的盖板，本体的底部设置有出液口，槽体还包括药液循环系统，药液循环系统包括喷淋管路及循环管路，喷淋管路设置于盖板内部，循环管路连接于出液口和喷淋管路之间，盖板的底部设置有多个与喷淋管路连通的进液口。药液从出液口流出后经循环管路流至喷淋管路，再从多个进液口喷射在本体内，多个位置向本体内喷淋药液，药液充分循环，保证硅片在槽体内反应的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种槽体。

背景技术

现有的晶体硅太阳能电池的制备工艺如下：清洗制绒→扩散→刻蚀→PECVD→丝网印刷→烧结→测试分档→分选→包装。其中，制绒是为了在硅片表面形成绒面，以提高硅片的陷光作用。现有技术中，制绒一般在槽体中进行，槽体一般包括槽体本体以及药液循环系统，槽体本体的上端口敞开以便于取放盛放硅片的花篮，药液循环系统用于循环药液，以使药液保持均匀的浓度。

然而，药液循环系统的进液口一般设置在槽体的侧壁上，由于药液不能均匀的喷洒，使得药液在槽体内腔中的循环路径比较单一，一定程度上影响了药液中硅片反应的均匀度，而且在槽体的侧壁设置通孔，对槽体的强度有一定的破坏，在意外情况时，还可能导致化学药液溢出。

因此，亟需一种槽体，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种槽体，能够提高槽体内药液的均匀度。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种槽体，包括本体及设置于所述本体的上端开口处的盖板，所述本体的底部设置有出液口，所述槽体还包括药液循环系统，所述药液循环系统包括喷淋管路及循环管路，所述喷淋管路设置于所述盖板内部，所述循环管路连接于所述出液口和所述喷淋管路之间，所述盖板的底部设置有多个与所述喷淋管路连通的进液口。

作为优选，所述喷淋管路呈环形。

作为优选，所述循环管路的至少一部分管路为柔性管。

作为优选，所述进液口设置有伸入所述本体内的进液管。

作为优选，所述进液管的管壁和/或底壁设置有若干用于进液的小孔。

作为优选，所述药液循环系统还包括循环泵，所述循环泵连接于所述循环管路，所述循环泵被配置为将所述出液口流出的药液泵至所述进液口。

作为优选，所述循环管路上设置有调节阀。

作为优选，所述盖板设置有两个，两个所述盖板均对应设置有一个所述药液循环系统，两个所述药液循环系统均与所述出液口连通。

作为优选，所述槽体还包括过滤装置，所述过滤装置设置于所述出液口处。

作为优选，所述过滤装置为滤网。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供了一种槽体。该槽体设置有药液循环系统，药液循环系统包括喷淋管路及循环管路，喷淋管路设置于所述盖板内部，循环管路连接于出液口和喷淋管路之间，盖板的底部设置有多个与喷淋管路连通的进液口。药液从出液口流出后经循环管路流至喷淋管路，再从多个进液口喷射在本体内，多个位置向本体内喷淋药液，药液充分循环，保证硅片在槽体内反应的均匀性。

附图说明

图1是本实用新型提供的槽体的结构示意图；

图2是本实用新型提供的槽体的剖视图。

图中：

1、本体；11、出液口；2、盖板；21、进液口；3、药液循环系统；31、喷淋管路；32、循环管路；33、循环泵；34、调节阀；4、进液管；41、小孔；5、滤网。