[实用新型]一种多功能wafer载盘有效
| 申请号： | 201920104229.8 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN209465356U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 郭祖福 | 申请（专利权）人： | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/04 | 分类号： | B07C5/04;B07C5/02;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 郑隽;吴婷 |
| 地址： | 423038 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 载盘 固定主体 工件固定机构 本实用新型 固定锁板 晶元 固定铁板 固定铁条 六棱柱状 嵌入安装 现有装置 整体外观 活动栓 磁铁 螺丝 改进 资金 | ||
1.一种多功能wafer载盘，包括：载盘固定主体(1)、内载盘(2)、工件固定机构(3)、固定锁板(301)、磁体固定铁条(302)、活动栓(303)、磁铁(304)、固定铁板(305)；其特征在于：所述载盘固定主体(1)的整体外观呈六棱柱状，且内载盘(2)嵌入安装在载盘固定主体(1)上，内载盘(2)与载盘固定主体(1)通过螺丝相连接；所述工件固定机构(3)设置在载盘固定主体(1)及内载盘(2)的上方，且工件固定机构(3)由固定锁板(301)、磁体固定铁条(302)、活动栓(303)、磁铁(304)、固定铁板(305)组成；所述固定锁板(301)位于载盘固定主体(1)及内载盘(2)的上方，且固定锁板(301)与载盘固定主体(1)、内载盘(2)为一体式结构；所述磁体固定铁条(302)安装在固定锁板(301)的一侧；所述活动栓(303)的一端嵌入安装在磁体固定铁条(302)的后端，且活动栓(303)的另一端贯穿固定锁板(301)，固定锁板(301)与活动栓(303)通过套入方式活动连接；所述固定铁板(305)通过螺钉安装在磁体固定铁条(302)的上方；所述磁铁(304)安装在固定铁板(305)的两侧，且磁铁(304)与磁体固定铁条(302)通过磁性吸合。
2.根据权利要求1所述的一种多功能wafer载盘，其特征在于：所述内载盘(2)的整体外观呈圆环状，且内载盘(2)通过与载盘固定主体(1)的螺丝连接方式设置为拆卸装置。
3.根据权利要求1所述的一种多功能wafer载盘，其特征在于：所述载盘固定主体(1)上开设有用于容纳内载盘(2)的圆形凹槽，且内载盘(2)安装后上表面与载盘固定主体(1)的上表面平齐。
4.根据权利要求1所述的一种多功能wafer载盘，其特征在于：所述工件固定机构(3)在载盘固定主体(1)、内载盘(2)的上方呈环形阵列状分布，工件固定机构(3)在载盘固定主体(1)、内载盘(2)的上方均设置有三处。
5.根据权利要求1所述的一种多功能wafer载盘，其特征在于：所述磁体固定铁条(302)通过固定锁板(301)与活动栓(303)以套入活动连接的方式设置为滑动装置。
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