[实用新型]一种掩膜版搬运装置

说明书

本实用新型公开了一种掩膜版搬运装置，包括行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述行驶部包括2个对称设置的支撑板，所述支撑板的前端设置有前置导向轮，支撑板的外侧设置有侧面导向轮，前置导向轮和侧面导向轮与地面具有一定高度且与地面平行，所述支撑板的底部设置有副轮，支撑部包括2个对称设置的立柱，立柱垂直设置在支撑板上，升降部包括设置在立柱前端的直线导轨，所述直线导轨内设置有牙叉，2个牙叉之间通过连接板连接，所述控制部驱动牙叉上下移动。本实用新型实现了对大尺寸掩膜版的搬运，减少人为接触，大幅度降低产品缺陷、报废发生风险，同时提高产品搬运、装卸时的效率和精度。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版制作技术领域，具体涉及一种掩膜版搬运装置。

背景技术

光刻掩膜版简称掩膜版，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。掩膜版是光刻复制图形的基准和蓝本，光刻掩膜版上的任何缺陷都会对最终图形精度有较大影响，并直接影响最终制品的优品率。

在掩膜版的制造及后续的储运、安装过程时，涉及到大量要搬运掩膜版、掩膜版玻璃基板或者掩膜版光学膜的环节，传统的做法是由操作人员用手动的方式对掩膜版、掩膜版玻璃基板或者掩膜版光学膜进行抓取和搬运。

这种手动的方式存在一个很严重的问题：操作人员的手、无尘服等部位容易接触到掩膜版或光学膜表面，从而留下指印、污迹，还有可能造成光学膜破损等不可逆损伤导致产品彻底报废。特别地，TFT掩膜版及配套光学膜，其最大尺寸已经达到1620*1780mm，尺寸的变化必然带来产品重量的变化，传统手动的方式已经不再适用。同时，产品尺寸增大后，对脏污、颗粒等缺陷的要求更加严格，传统手动的方式会对产品带来更大的品质风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩膜版搬运装置，实现对大尺寸掩膜版的搬运，减少人为接触，大幅度降低产品缺陷、报废发生风险，同时提高产品搬运、装卸时的效率和精度。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种掩膜版搬运装置，包括行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述行驶部包括2个对称设置的支撑板，所述支撑板的前端设置有前置导向轮，所述支撑板的外侧设置有侧面导向轮，所述前置导向轮和侧面导向轮与地面具有一定高度且与地面平行，所述支撑板的底部设置有副轮，所述支撑部包括2个对称设置的立柱，所述立柱垂直设置在支撑板上，所述升降部包括设置在立柱前端的直线导轨，所述直线导轨内设置有牙叉，所述牙叉能够沿着直线导轨在竖直方向上下移动，2个牙叉之间通过连接板连接，所述控制部驱动牙叉上下移动。

本实用新型所述大尺寸掩膜版具体是指4.5代-11代，掩膜版尺寸涵盖520*800*10mm-1620*1780*17mm。

本实用新型所述行驶部用于整个搬运装置在地面上行走，所述前端具体是指搬运装置在使用过程中靠近包装箱(大尺寸掩膜版、掩膜版玻璃基板、掩膜版光学膜或者掩膜版、光学膜在搬运过程中需要放置在包装箱内)的一侧，后端具体是指与前端相对的一端，所述前置导向轮和侧面导向轮与地面具有一定高度且与地面平行具体是指整个搬运装置在地面上行走时，前置导向轮和侧面导向轮不与地面接触，所述牙叉用于支承包装箱。

本实用新型通过设置行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述升降部的牙叉用于支承包装箱，通过控制部控制升降部的升降，继而实现牙叉的升降，所述行驶部不仅用于整个搬运装置在地面上行走，且搬运装置与设备进行对接时，所述前置导向轮和侧面导向轮可以在设备定位通道中滑动，采用支撑板进入设备定位通道的这种方式，可以实现搬运装置与设备的精确对接，如此，本实用新型实现了对大尺寸掩膜版的搬运，减少人为接触，大幅度降低产品缺陷、报废发生风险，同时提高产品搬运、装卸时的效率和精度。

进一步地，牙叉的后端设置有主轮。

优选地，在牙叉的后端设置有L形板，所述主轮设置在L形板底部。