[实用新型]一种静电势阱磁约束装置有效
| 申请号: | 201920085769.6 | 申请日: | 2019-01-18 |
| 公开(公告)号: | CN209741261U | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
| 发明(设计)人: | 陈大民;党卫安 | 申请(专利权)人: | 东莞市鑫钛极真空科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
| 代理公司: | 44371 东莞众业知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 何恒韬<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址: | 523000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 筒体 电极环 溅射 本实用新型 电源电连接 电磁线圈 截止阀 电源 开口 等离子体 体内 电磁场 等离子 磁约束 电磁线 电连接 接地线 静电势 靶材 基材 圈套 体能 穿过 脱离 | ||
1.一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:包括筒体、电磁线圈、第一电源、第二电源和截止阀,所述电磁线圈与第二电源电连接,所述电磁线圈套设于筒体的外侧以使筒体内形成电磁场,所述筒体内装设有电极环,所述电极环的一端与第一电源电连接,所述筒体设有开口,所述电极环的另一端穿过开口与截止阀电连接,所述筒体接地线。
2.根据权利要求1所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述筒体包括呈球状的第一筒体和自第一筒体两侧向外延伸形成的第二筒体,所述电磁线圈套设于第二筒体的外侧,所述电极环装设于第一筒体内,所述开口设于第一筒体上。
3.根据权利要求1所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述电极环为阳极环。
4.根据权利要求1所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:还包括第二电阻和第一电阻,所述第二电阻的一端与电极环电连接,所述第二电阻的另一端与第一电阻的一端电连接,所述第一电阻的另一端与第一电源电连接。
5.根据权利要求2所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:还包括密封圈,所述第二筒体还设有用于安装密封圈的安装槽,所述安装槽与开口相互连通。
6.根据权利要求1所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述第一电源为直流电源,所述第一电源的电压值为0-500V。
7.根据权利要求1所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述电磁场的磁场强度为1-2T。
8.根据权利要求2所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述第二筒体的内部直径为180mm。
9.根据权利要求2所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述第一筒体的长度为160mm,所述第二筒体的长度为80mm。
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