[实用新型]一种多晶硅片高效清洗装置

说明书

本实用新型涉及多晶硅加工设备技术领域，具体涉及一种多晶硅片高效清洗装置，包括底座箱和底座箱上端安装的清洗箱，所述底座箱的内腔对称转动安装有两个转动辊，且两个转动辊通过传输带传动连接，其中一个传输带的后端到达底座箱的外腔并通过联轴器安装在伺服电机的输出端上，且伺服电机固定安装在底座箱的侧壁上。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，有效的解决了传统的多晶硅片清洗装置在进行清洗时不仅会浪费大量的水源，而且需要加工人员打开清洗装置的外壳将多晶硅片放入清洗，无法做到自动循环清洗，清洗效率较低的问题。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅加工设备技术领域，具体涉及一种多晶硅片高效清洗装置。

背景技术

多晶硅片，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。多晶硅片利用广泛，从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。

现有的多晶硅片在进行切片后，需要对多晶硅片进行清洗，洗去多晶硅片上的硅粉和切割残渣，传统的多晶硅片清洗装置在进行清洗时不仅会浪费大量的水源，而且需要加工人员打开清洗装置的外壳将多晶硅片放入清洗，无法做到自动循环清洗，清洗的效率较低。

公开号为CN205248239U的专利，公开了一种新型多晶硅片清洗机，包括清洗仓、沥水仓和干燥仓，清洗仓内中间横向设置轨道一，所述轨道一两侧设置喷雾喷头，喷雾喷头之间设置超声波发射器，沥水仓内设置轨道二，沥水仓内左侧上方设置干燥空气入口，干燥仓与沥水仓尺寸相同，干燥仓左侧下方设置干燥空气入口二，干燥仓与沥水仓中间设置挡板，该装置自然沥水过程中加速水分蒸发，但是该装置存在入料和出料麻烦的问题，无法做到循环清洗，为此，我们提出了一种多晶硅片高效清洗装置。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种多晶硅片高效清洗装置，克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，有效的解决了传统的多晶硅片清洗装置在进行清洗时不仅会浪费大量的水源，而且需要加工人员打开清洗装置的外壳将多晶硅片放入清洗，无法做到自动循环清洗，清洗效率较低的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种多晶硅片高效清洗装置，包括底座箱和底座箱上端安装的清洗箱，所述底座箱的内腔对称转动安装有两个转动辊，且两个转动辊通过传输带传动连接，其中一个转动辊的后端到达底座箱的外腔并通过联轴器安装在伺服电机的输出端上，且伺服电机固定安装在底座箱的侧壁上，所述传输带的上端贯穿底座箱上端开设的传输通孔并到达底座箱的外腔，所述传输带的下方设有倒台型集水盒，且倒台型集水盒固定安装在底座箱的内底壁上，所述清洗箱的内腔设有清洗装置，且清洗装置的下方设有多晶硅片盒，所述多晶硅片盒放置在传输带的上端；

所述清洗装置包括连接管，所述连接管的一端延伸入倒台型集水盒的内腔下部，且连接管的另一端到达底座箱的外腔并延伸入水箱的内腔下部，所述水箱安装在底座箱的侧壁上，且水箱的内腔中部安装有过滤网，所述过滤网的上方安装有抽水管，且抽水管的另一端贯穿水箱的顶壁延伸入清洗箱的内腔并贯通连接有分流盘，所述抽水管上安装有水泵，所述分流盘的下端安装有多个喷嘴，且分流盘通过连接件安装在清洗箱的内顶壁上。

进一步的，所述喷嘴的数量多于等于12个，且多个喷嘴呈环形阵列分布，多个喷嘴均与分流盘的下端之间设有各不相同的倾斜角度。

进一步的，所述传输带为尼龙带，且传输带上开设有多个渗漏孔。

进一步的，所述多晶硅片盒的侧壁上平行开设有多个插槽，且多晶硅片盒的底壁上开设有多个排水孔。