[实用新型]一种可在线识别灰尘与划伤的智能检测设备

权利要求书

1.一种可在线识别灰尘与划伤的智能检测设备，其特征在于：包括检测处理单元和设于被测物平面上方的光源处理系统、取图系统及自动追焦系统，所述光源处理系统包括光源切换装置、第一光源装置及第二光源装置，所述光源切换装置与检测处理单元相电连接，其用于控制切换所述第一光源装置和第二光源装置，所述第一光源装置包括第一线性光源和斜光源，所述第一线性光源垂直于被测物平面，所述斜光源设于第一线性光源的左侧，其与所述第一线性光源的垂直线成70-85度夹角，所述第二光源装置包括第二线性光源，所述第二线性光源平行于被测物平面，所述取图系统包括分别与检测处理单元相电连接的第一摄像装置和第二摄像装置，所述第一摄像装置设于第一线性光源的右侧，其与所述第一线性光源的垂直线成5-25度夹角，所述第二摄像装置设于第二线性光源的上方，且垂直于被测物平面，所述自动追焦系统包括分别与检测处理单元相电连接的第一追焦装置、第二追焦装置及移动控制装置，所述第一追焦装置和第二追焦装置用于对被测物平面进行实时追焦，所述移动控制装置用于控制所述第一摄像装置和第二摄像装置，使所述第一摄像装置和第二摄像装置分别根据所述第一追焦装置和第二追焦装置实时追焦的情况进行移动。

2.如权利要求1所述的一种可在线识别灰尘与划伤的智能检测设备，其特征在于：所述第一追焦装置和第二追焦装置均包括激光发射器、激光检测器及测量电路，所述激光发射器将激光射向被测物体表面，激光经物体反射后由所述激光检测器接收，并由所述测量电路将光信号转换为电信号发送至所述检测处理单元。

3.如权利要求1所述的一种可在线识别灰尘与划伤的智能检测设备，其特征在于：所述第一线性光源和第二线性光源采用LNSP线扫专用CCS光源，所述斜光源采用LNIS线扫专用CCS光源。

4.如权利要求2或3所述的一种可在线识别灰尘与划伤的智能检测设备，其特征在于：所述第一摄像装置和第二摄像装置均包括相机、图像采集卡、数据线及物镜，所述图像采集卡通过数据线分别与所述相机和检测处理单元相连接，所述物镜设于相机的镜筒前端。

5.如权利要求4所述的一种可在线识别灰尘与划伤的智能检测设备，其特征在于：所述相机为16K TDI线扫相机，所述图像采集卡为HS Link采集卡，所述物镜为多倍物镜。