[实用新型]往复运动泵

说明书

一种往复运动泵，在吐出时确保吐出量的线性，并且在吸入时不会产生负压、回弹导致的膜片的负荷，以更少的动作气体进行低速动作。该往复运动泵，具备：具有内部空间的泵头；膜片，其将泵头的内部空间区分为导入输送流体的泵室以及导入动作气体的动作室；驱动单元，其具有与膜片连接的往复运动部件，能够通过动作气体至少朝向膜片后退的方向驱动往复运动部件；动作气体切换单元，其将动作气体导入动作室，使得膜片前进并从泵室吐出输送流体，并且将动作气体供应给驱动单元，驱动往复运动部件使得膜片后退并向泵室吸入输送流体。

技术领域

本实用新型涉及一种往复运动泵。

背景技术

已知有使膜片进行往复运动的往复运动泵。例如，在半导体晶圆的曝光步骤的前一阶段，在晶圆上表面通过旋涂法涂覆抗蚀剂时使用的抗蚀剂泵等是其中一例(例如，参照专利文献 1)。该抗蚀剂泵，为了防止气泡的产生，与以一定的流速向喷嘴输送抗蚀剂的泵相比，增大了抗蚀剂的吐出量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-352002号公报

发明内容

实用新型要解决的技术问题

然而，上述专利文献1公开的抗蚀剂泵，通过气缸使得可改变抗蚀剂室(泵室)的容积的膜片以一定量前进/后退从而进行位移并输送抗蚀剂。这类往复运动泵的情况下，由于仅使得膜片的中心部前进以及后退，因此在由吐出压力和液体的粘度决定的负荷的影响下，膜片的外周部变形，无法确保膜片的中心部的行程长度和吐出量或容积变化量之间的线性。因此，为了吐出一定量或一定压力的液体，需要复杂的控制或结构。

另一方面，虽然也可考虑不使用气缸，而使用气体直接驱动膜片，但是在这种情况下，需要用于在吸入步骤中产生负压的装置。在使用喷射器的情况下，在吸入动作中必须连续地对气体进行排气，因此气体的消耗量增加。另外，在通过回弹方式使得膜片在常态下朝向一个方向施力的情况下，在膜片的内外产生差压，因此存在需要膜片的强度的问题。另外，在回弹的方式的情况下，无法调节吸引时间(吸引力)，因此难以进行低速动作，存在输送液起泡、无法吸引的问题。

本实用新型，鉴于上述问题而完成，其目的在于提供一种往复运动泵，该往复运动泵在输送流体的吐出时通过动作气体直接驱动膜片，在吸入时通过驱动单元间接地驱动膜片，因而在吐出时确保吐出压恒定(吐出量的线性)，在吸入时不会产生负压和回弹导致的膜片的负荷，能够以更少的动作气体进行低速动作。

解决技术问题的方法

本实用新型的往复运动泵，其特征在于，具备：具有内部空间的泵头；膜片，其将所述泵头的内部空间区分成导入输送流体的泵室以及导入动作气体的动作室；驱动单元，其具有与所述膜片连接的往复运动部件，能够通过所述动作气体至少朝向所述膜片后退的方向驱动所述往复运动部件；动作气体切换单元，其将所述动作气体导入所述动作室，使得所述膜片前进并从所述泵室吐出所述输送流体，并且将所述动作气体供应给所述驱动单元，驱动所述往复运动部件使得所述膜片后退并向所述泵室吸入所述输送流体。

在本实用新型的一实施方式中，所述泵头，具有与所述动作室连通的第1通气口，所述驱动单元，具有导入以及排出所述动作气体的第2通气口，所述动作气体切换单元包括第1 动作阀和第2动作阀，所述第1动作阀从气体供应源向所述第1通气口供应所述动作气体，并从所述第1通气口排出所述动作气体，所述第2动作阀从所述气体供应源向所述第2通气口供应所述动作气体，并从所述第2通气口排出所述动作气体。

在本实用新型的另一实施方式中，所述泵头，具备：将所述输送流体导入所述泵室的吸入口；从所述泵室吐出所述输送流体的吐出口；排出所述泵室内的气体的排出口，还具备：设置在所述吸入口的上游的吸入阀；设置在所述吐出口的下游的吐出阀；设置在所述排出口的下游的排出阀。