[实用新型]一种真空镀膜机基材旋转夹具

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机基材旋转夹具，其技术方案要点是：包括固定板以及一端固定在所述固定板上的连接杆，所述连接杆的另一端固定有第一匚字形板，所述固定板内螺纹连接有螺杆，所述螺杆的一端转动连接在第二匚字形板上，所述第一匚字形板和所述第二匚字形板的开口相对设置，所述第一匚字形板在远离所述第二匚字形板的一面焊接固定有螺纹管筒，所述螺纹管筒内螺纹连接有第一固定杆，所述第一固定杆由伺服电机驱动转动，所述伺服电机安装固定在真空镀膜室上，待镀膜的基材可以被固定在第一匚字形板和第二匚字形板的开口之间，基材可以被牢靠的固定在夹具上；且夹具能够带动基材翻转，较为可靠方便。

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，特别涉及一种真空镀膜机基材旋转夹具。

背景技术

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

在真空镀膜的过程中，基材会在真空镀膜室内被镀膜，为了使得基材表面的膜层均匀与一致，需要调整基材的位置，对于板状的基材而言，为了使得基材的两个表面都能得到均匀一致的膜层，需要利用旋转夹具将基材翻转九十度，故需要一种真空镀膜机基材旋转夹具。

实用新型内容

针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种真空镀膜机基材旋转夹具，以解决背景技术中提到的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种真空镀膜机基材旋转夹具，包括固定板以及一端固定在所述固定板上的连接杆，所述连接杆的另一端固定有第一匚字形板，所述固定板内螺纹连接有螺杆，所述螺杆的一端转动连接在第二匚字形板上，所述第一匚字形板和所述第二匚字形板的开口相对设置，所述第二匚字形板在靠近所述固定板的一面固定有导向杆，所述固定板上开设有供所述导向杆穿过的导向孔，所述第一匚字形板在远离所述第二匚字形板的一面焊接固定有螺纹管筒，所述螺纹管筒内螺纹连接有第一固定杆，所述第一固定杆由伺服电机驱动转动，所述伺服电机安装固定在真空镀膜室上。

通过采用上述技术方案，待镀膜的基材可以被固定在第一匚字形板和第二匚字形板的开口之间，当转动螺杆时能够将第一匚字形板和第二匚字形板之间的基材卡紧，基材可以被牢靠的固定在夹具上；当基材的一面镀膜完成后启动伺服电机，伺服电机将带动第一匚字形板、连接杆和第二匚字形板整体翻转，能够带动基材翻转，较为可靠方便。

较佳的，所述伺服电机的电机轴端部固定有第二固定杆，所述第一固定杆端部固定有第一法兰盘，所述第二固定杆端部固定有第二法兰盘，所述第一法兰盘和所述第二法兰盘之间通过若干个第一锁紧螺栓连接。

通过采用上述技术方案，通过利用第一法兰盘、第二法兰盘以及第一锁紧螺栓能够方便第一固定杆与第二固定杆之间的连接与拆卸。

较佳的，所述第一匚字形板和所述第二匚字形板在靠近所述连接杆的一面均通过若干个第二锁紧螺栓连接有挡板。

通过采用上述技术方案，第一匚字形板和第二匚字形板上通过第二锁紧螺栓连接的挡板能够对插入到第一匚字形板和第二匚字形板开口之间的基材起到插入限位的作用。

较佳的，所述螺杆在远离所述第二匚字形板的一端固定有圆盘，所述圆盘在远离所述螺杆的一面偏心固定有把手杆。

通过采用上述技术方案，通过摇动圆盘上的把手杆能够方便操作者带动螺杆转动，能够方便操作者取出基材。

较佳的，所述导向杆的外部套设有弹簧，所述弹簧的一端固定在第二匚字形板上，所述弹簧的另一端固定在所述固定板上。