[实用新型]一种传感芯片批量老化装置有效
| 申请号: | 201920052386.9 | 申请日: | 2019-01-11 |
| 公开(公告)号: | CN209460360U | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
| 发明(设计)人: | 陈栋梁;周睿颖;吴秋菊;蒋亚春 | 申请(专利权)人: | 合肥微纳传感技术有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
| 代理公司: | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人: | 张景云 |
| 地址: | 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 导电机构 限位机构 压制机构 底板 传感芯片 电性连接 老化装置 限位 电路 本实用新型 依次设置 压制 老化 | ||
本实用新型提供一种传感芯片批量老化装置,包括底板;在所述底板上依次设置有导电机构、限位机构、压制机构;所述限位机构能够限位批量芯片,且限位后的芯片与导电机构电性连接,实现所有芯片并联在电路上;所述压制机构对批量芯片进行压制。与现有技术相比,通过限位机构实现芯片的固定已经与导电机构的电性连接,通过压制机构实现芯片的固定;通过将芯片并联在电路上,可实现批量老化。
技术领域
本实用新型涉及芯片老化技术领域,具体来说是一种传感芯片批量老化装置。
背景技术
半导体金属氧化物气体传感器的气敏材料接触到被测气体时,气敏材料的电导率就会发生变化,通过电流变化的比较,激发报警电路。金属氧化物半导体式传感器,因其反应十分灵敏,故目前广泛使用的领域,如测量气体的微漏现象。由于半导体式传感器测量时受环境影响较大,输出线形不稳定,材料电子在初期通电过程中初始电阻偏移,因此在使用之前需要对传感器进行长时间的老化,一般老化时间都需要7天到30天左右。特别是近年发展以LGA封装形式的MEMS芯片气体传感器具有尺寸小的特点,给批量老化带来一定的困难。
另外,现有的老化装置每次只能单独老化一个气体传感器,批量老化时需要多个老化装置并联,不适合批量老化。效率低、成本高。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是现有技术中缺少针对尺寸小的封装传感器进行批量老化的装置。
本实用新型通过以下技术方案来解决上述技术问题:
一种传感芯片批量老化装置,包括底板;在所述底板上依次设置有导电机构、限位机构、压制机构;
所述限位机构能够限位批量芯片,且限位后的芯片与导电机构电性连接,实现所有芯片并联在电路上;所述压制机构对批量芯片进行压制。
优选的,所述导电机构包括多个导电单元,多个导电单元并排设置在底板上;所述导电单元包括正极板、负极板,正极板、负极板并排间隔设置且分别与电源的正极、负极连接;多个芯片搭设在正极板、负极板上,芯片相应触点分别与正极板、负极板电性连接。
优选的,相邻两个导电单元共用正极板或负极板。
优选的,所述限位机构包括多个限位单元,每个限位单元与一个导电单元对应;所述限位单元包括芯片限位槽;多个传感芯片限位在所述芯片限位槽内。
优选的,所述压制机构包括多个压制单元,每个压制单元与一个限位单元对应;压制单元包括与芯片限位槽配合的凸条;所述凸条压制多个芯片。
优选的,所述正极板、负极板均为导电海绵片。
优选的,所述限位单元包括两块限位板;两块限位板并排间隔设置在两块相邻的导电海绵片的上方,以形成所述芯片限位槽;所述两块导电海绵片之间的间隔小于芯片限位槽的宽度,传感芯片限位在芯片限位槽内,其上的触点分别搭在两块导电海绵片上。
优选的,所述压制单元包括压条本体、设置在所述压条本体底部的凸条;所述压条本体宽于凸条宽度;
所述限位板的两侧均为台阶状,以使相邻两块限位板之间形成所述芯片限位槽和用于限位压条本体的压条本体限位槽。
优选的,所述压制单元还包括压紧部;所述压紧部包括压块;所述压块包括垂直段和水平段,垂直段和水平段形成L形结构,垂直段垂直于底板并抵接在底板上,水平段延伸至压条本体上方;其水平段靠近垂直段的位置开设有第一螺孔,底板与第一螺孔垂直对应的位置开设有第二螺孔,通过螺栓依次穿过第一螺孔、第二螺孔旋紧使水平段对压条本体施压。
优选的,在正极板和负极板的下表面各放置一块铜箔。
本实用新型的优点在于:
1、通过限位机构实现多个芯片的限位以及与导电机构的电性连接,通过压制机构实现芯片的固定;
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