[实用新型]超声辅助激光水下清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种超声辅助激光水下清洗装置，清洗加工模块包括工件、水箱和平场聚焦透镜，工件放置于水箱内的水下，平场聚焦透镜设于水面上方；工作台模块包括可在X/Y向移动的平台，水箱放置于平台上；超声能量模块包括超声换能器，超声换能器附着于水箱上；其激光扫描模块包括振镜和多边形扫描反射镜，多边形扫描反射镜可转动的设于平场聚焦透镜上方，振镜对应于多边形扫描反射镜设置；振镜将入射激光束向多边形扫描反射镜反射，多边形扫描反射镜将入射激光束向平场聚焦透镜反射，平场聚焦透镜将两次反射的入射激光束转变为工作激光束打在工件上而产生空化气泡。本实用新型提高了清洗效率和效果，增加了工件的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及激光清洗辅助机构，具体为一种超声辅助激光水下清洗装置。

背景技术

激光清洗是工业清洗领域中的一个重要方向，它具有以下几个优点：

1、保护环境。

2、非接触式清洗，对基材损伤小。

3、较高灵活性、稳定性和自动化。

4、清洗质量好。

然而，随着激光清洗的领域不断扩大，激光清洗的工件涉及到了精密仪器，对于精密仪器，热影响是不能接受的；此外，当在空气中易被氧化的工件被清洗时，工件在被清洗过后很快再次被污染，由于激光在空气中清洗过后仍有余温残留，加速了清洗表面被氧化，从而降低了激光清洗效率和精度。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是提出了一种降低热影响、不易氧化、清洗效率高的超声辅助激光水下清洗装置。

能够解决上述技术问题的超声辅助激光水下清洗装置，其技术方案包括激光扫描模块、清洗加工模块、超声能量模块以及工作台模块，其中：

1、所述清洗加工模块包括工件、水箱和平场聚焦透镜，所述工件放置于水箱内的水下，所述平场聚焦透镜设于水面上方与工件相对。

2、所述工作台模块包括可在X/Y向移动的平台，所述水箱放置于平台上。

3、所述超声能量模块包括超声换能器，所述超声换能器附着于水箱上并通过线路连接超声波发生器。

4、所述激光扫描模块包括振镜和多边形扫描反射镜，所述多边形扫描反射镜可转动的设于平场聚焦透镜上方，多边形扫描反射镜的转动轴线为Y向，所述振镜对应于多边形扫描反射镜设置。

所述振镜将入射激光束向正多边形扫描反射镜反射，多边形扫描反射镜将入射激光束再次向平场聚焦透镜反射，所述平场聚焦透镜将两次反射的入射激光束转变为工作激光束打在工件上而产生空化气泡。

优化方案中，所述振镜于正多边形扫描反射镜侧旁下方设置，垂直的入射激光束向下照射在振镜上。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型超声辅助激光水下清洗装置，采用水的冷却作用减少了清洗过程的热影响，避免了易氧化的工件清洗表面与氧气的直接接触；超声能量的加入使气泡的空化作用得到提高和延长，因而提高了清洗效率，同时使气泡脉动增强，作用在清洗表面的压强有了显著的提高，对清洗表面起到了一定的强化作用，使其力学性能有所提升。

2、本实用新型提高了入射激光束的清洗效率和效果，延缓了工件表面被再次污染，增加了工件的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型一种实施方式的结构示意图。

图2为图1实施方式的工作原理图。