[实用新型]一种直冷机的监控系统

说明书

一种直冷机的监控系统，包括若干直冷机，所述若干直冷机上分别设有通讯模块，所述通讯模块分别和服务器连接，所述通讯模块向服务器传输工作状态信息；服务器连接终端显示器；所述通讯模块中，包括温度传感器、液位传感器和电流电压传感器。本实用新型通过直冷机上的通讯模块，使不同的直冷机能与服务器进行实时的通讯，从而可以让用户在终端显示器处实时监测所有冷水机的工作状态。

技术领域

本实用新型涉及一种监控设备，具体地说是一种直冷机的监控系统。

背景技术

在半导体制造行业中，工艺反应腔体 (即晶片卡盘)控温通常采用直冷机；而现有的直冷机通常采用常规的压缩机，不仅能耗较大，且温控的精度很差，不能满足高精度的半导体生产要求。

CN 201320656711.5号中国专利提供了一种半导体温控储存装置，包括一箱体，箱体中设置有：半导体制冷系统，包括一半导体制冷片，半导体制冷片的一端与水冷头连接，与水冷头中的液体进行热交换，另一端与一散热片连接，与箱体的外部进行热交换；水循环系统，与半导体制冷片实现热交换，向箱体内提供冷风或热风；控制芯片，包括一单片机，驱动水循环系统和半导体制系统，制造成本低，适合于较小体积的物品的恒温密封保存。

而在一个生产工厂中，会有成百上千的直冷机同时工作，而每个直冷机中有不同的设备均需要监控，因此需要及时监控每一个直冷机的工作状态。

实用新型内容

本实用新型为解决现有的问题，旨在提供一种直冷机的监控系统。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案直冷机包括热交换器、加热电路、冷却液罐、泵和若干管道，其中，冷却液罐中的冷却液经泵加压并通过管道输送到热交换器的热交换板中，且在带走热量后回流到冷却液罐，以此形成液体循环；而另一热交换板接通反应腔体。所述监控系统包括若干直冷机，所述若干直冷机上分别设有通讯模块，所述通讯模块分别和服务器连接，所述通讯模块向服务器传输工作状态信息；服务器连接终端显示器；所述通讯模块中，包括温度传感器、液位传感器和电流电压传感器。

其中，温度传感器设于热交换器的表面。

其中，液位传感器设于冷却液罐的内部侧壁。

其中，电流电压传感器设于加热电路总线上。

其中，还包括单向阀，所述单向阀设于用于液体循环的任一管道上。

其中，还包括过温保护装置，所述过温保护装置包括温度开关和加热电路，所述温度开关固定在热交换器的外表面上；所述温度开关设于加热电路总线上；温度开关可依据设定的温度范围而断开、连通加热电路。

其中，还包括控制器和为其供电的电源，控制器分别连接并控制泵、加热电路；控制器还通过触屏进行人机交互；并通过USB接口存储信息。

和现有技术相比，本实用新型通过直冷机上的通讯模块，使不同的直冷机能与服务器进行实时的通讯，从而可以让用户在终端显示器处实时监测所有冷水机的工作状态。还利用半导体控温芯片对反应腔体进行温控，使得控温精度以及能耗有一个明显的改善；本实用新型所提供的热价换器制冷效果好、冷却迅速。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为直冷机的结构拆分示意图。

具体实施方式

现结合附图对本实用新型作进一步地说明。

参见图2，本实用新型还提供一种用于半导体设备反应腔体控温的直冷机，包括箱体、热交换器、冷却液罐、泵和若干管道。其中，冷却液罐中的冷却液经泵加压并通过管道输送到热交换器的热交换板中，热交换器通过支架固定在箱体内；在带走热量后回流到冷却液罐，以此形成液体循环；而另一热交换板接通反应腔体。