[实用新型]一种用于射频二氧化碳激光器的V型激光谐振腔

说明书

本实用新型公开了一种用于射频二氧化碳激光器的V型激光谐振腔，包括谐振腔本体（1）、前端板（2）、后端板（3）、电感机构（4）、正电极板（5）和负电极板（7），所述谐振腔的内腔底部设置与谐振腔本体（1）一体成型的负电极板（7），负电极板（7）的上方依次平行设置正电极板（5）和电感机构（4），电感机构（4）分别与正电极板（5）和负电极板（7）相连接构成LC振荡电路，在正电极板（5）和负电极板（7）之间设有V型光路引导机构（6），V型光路引导机构（6）上的截面为圆形的光路引导槽的端部分别与前端板（2）和后端板（3）上的相应镜片相对应。本实用新型的谐振腔结构简单、散热性好、密封性好、输出的激光束质量好。

技术领域

本实用新型涉及激光技术领域，具体地说是一种结构简单、装配容易、性能稳定的用于射频二氧化碳激光器的V型激光谐振腔。

背景技术

在射频二氧化碳激光器的谐振腔内一般由正电极板、负电极板和连接正负电极板的若干电感线圈构成LC振荡电路，正电极板和负电极板为两块平板电极，开启激光器后，在正负电极板之间的激光工作气体被激励发生辉光放电生产激光，激光在振荡电路中不断振荡放大最后冲出激光输出镜片输出到激光谐振腔外，通过激光整形光路将谐振腔输出的截面为矩形的光束整形为圆形光束，然后用于激光加工，由于平板电极激励的激光束为矩形，所以采用平板电极的激光谐振腔一般都要和复杂的光路整形装置配套使用，增加设备成本，而且通过若干电感线圈连接正电极板和负电极板的制造工艺也较复杂，增加了激光谐振腔的装配难度。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种结构简单、装配容易、性能稳定的用于射频二氧化碳激光器的V型激光谐振腔；该激光谐振腔通过加设V型光路引导机构，使激光谐振腔直接输出截面为圆形的光束，不需要复杂的光路整形装置对矩形光束进行整形，同时用一体成型的电感机构代替若干电感线圈，降低装配难度，解决现有技术存在的问题。

本实用新型的目的是通过以下技术方案解决的：

一种用于射频二氧化碳激光器的V型激光谐振腔，包括谐振腔本体、前端板、后端板、电感机构、正电极板和负电极板，谐振腔本体、前端板、后端板组合构成一封闭的谐振腔，其特征在于：所述谐振腔的内腔底部设置与谐振腔本体一体成型的负电极板，负电极板的上方依次平行设置正电极板和电感机构，电感机构分别与正电极板和负电极板相连接构成LC振荡电路，所述的正电极板和负电极板之间设有与两者平行设置的V型光路引导机构，V型光路引导机构上的截面为圆形的光路引导槽的端部分别与前端板和后端板上的相应镜片相对应。

所述电感机构中的连接柱垂直与正电极板相连接，且电感机构中的电感支架的端部分别通过卡簧与前端板和后端板相连，使得电感机构能够通过谐振腔本体与负电极板相连接。

所述的电感机构包括电感支架、盘状电感线圈和连接柱，电感支架上设有与电感支架厚度相同的盘状电感线圈，两带盘状电感线圈的电感支架并列设置即构成电感机构且电感机构中的任意相邻两个盘状电感线圈分属不同的电感支架；所述连接柱的上端与对应的盘状电感线圈的中心相连接，即每一个盘状电感线圈的中心有一个向下延伸的连接柱与正电极板相连。

所述的电感支架和盘状电感线圈一体成型；所述盘状电感线圈为导电材料由内向外按顺时针方向在同一平面内渐开绕制构成；构成同一盘状电感线圈的导电材料之间的间隙相同且间隙宽度与该导电材料的厚度相同。

所述前端板的厚度方向上分别设有用于安装激光输出镜镜座和用于安装激光反射镜镜座的贯穿孔，激光输出镜镜座和激光反射镜镜座的周侧分别通过相应的金属薄片与对应贯穿孔的内壁连接，激光输出镜镜座和激光反射镜镜座的镜片安装端处皆设有对应的压帽且激光输出镜镜座和激光反射镜镜座的镜片安装端嵌置在对应压帽的内腔中，使得激光输出镜镜片被固定在激光输出镜镜座上且激光反射镜镜片被固定在激光反射镜镜座上。

所述的金属薄片分别邻近相应激光输出镜镜座和激光反射镜镜座的镜片安装端设置，且金属薄片的厚度为0.6mm～0.9mm。