[实用新型]一种精密位移传感器

权利要求书

1.一种精密位移传感器，其特征在于，包括：

至少两个第一反射镜组，每个第一反射镜组包括反射镜一与反射镜二，所述至少两个第一反射镜组沿移动方向依次分布；

激光源，用于发射出激光束；

所述反射镜一，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射镜二，或用于接收反射镜二反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器二；

所述反射镜二，用于接收激光源射出激光束，且使激光束反射至反射镜一，或用于接收反射镜一反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器一；

所述光电探测器一，用于接收经反射镜二反射的激光束，并测量其入射位置；

所述光电探测器二，用于接收经反射镜一反射的激光束，并测量其入射位置；

所述激光束的光路为：依次经反射镜一、反射镜二反射后入射至光电探测器一，或依次经反射镜二、反射镜一反射后入射至光电探测器二；

所述光电探测器一与光电探测器二分别位于所述激光源相对立的两侧；

处理系统，用于根据光电探测器一、光电探测器二接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。

2.根据权利要求1所述的精密位移传感器，其特征在于，还包括第二反射镜组一、第二反射镜组二、所述第二反射镜组一包括反射镜三与反射镜四，所述第二反射镜组二包括反射镜五与反射镜六；所述第二反射组一与反射镜组二分别位于所述激光源相对立的两侧；

所述反射镜三，用于接收反射镜二反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜四；

所述反射镜四，用于接收反射镜三反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜二；

所述反射镜六，用于接收反射镜一反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜五；

所述反射镜五，用于接收反射镜六反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜一；

所述反射镜一，用于接收激光源发射的激光束或反射镜五反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜二，或接收反射镜二反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜六或光电探测器一；

所述反射镜二，用于接收激光源发射的激光束或反射镜四反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜一，或接收反射镜一反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜三或光电探测器二。

3.根据权利要求2所述的精密位移传感器，其特征在于，还包括壳体，激光源、光电探测器一、光电测器二、第二反射镜组一、第二反射镜组二均固定设置于壳体内，组成一个读数头。

4.根据权利要求3所述的精密位移传感器，其特征在于,所述读数头为至少两个，且所述至少两个读数头之间的位置关系满足：在测量过程中，至少有一个读数头可以读取到激光束在光电探测器一与光电探测器二光电探测器一或光电探测器二上的入射位置变化量。

5.根据权利要求2所述的精密位移传感器，其特征在于，所述反射镜一与反射镜二组成夹角为直角的反射镜组，激光源发射的激光束呈45度角入射至反射镜一或反射镜二。

6.根据权利要求5所述的精密位移传感器，其特征在于，所述反射镜三与反射镜四组成夹角为直角的反射镜组，所述反射镜五与反射镜六组成夹角为直角的反射镜组，所述反射镜三与反射镜五均与所述反射镜一平行，所述反射镜四与反射镜六与所述反射镜二平行。

7.根据权利要求1所述的精密位移传感器，其特征在于，所述至少两个第一反射镜组首尾连接，整体形成长条锯齿状结构。