[发明专利]MEMS麦克风及其制造方法

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括：

衬底；

位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板电极，所述膜片与所述背极板电极彼此隔开，所述膜片的第一表面与所述背极板电极的第一表面彼此相对；以及

贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，

其中，所述膜片的第二表面与所述衬底的第一表面通过连接部点接触。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，所述膜片包括：

中间部分；以及

围绕所述中间部分的周边部分。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其中，还包括：

位于所述衬底的第一表面上的第一连接部，与所述膜片的周边部分点接触。

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其中，还包括：

位于所述衬底的第一表面上的第二连接部，与所述膜片之间嵌套连接并向上延伸至所述膜片的第一表面。

5.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其中，还包括：

位于所述膜片的周边部分并向所述衬底第一表面延伸的第三连接部，与衬底之间还包括介质层。

6.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其中，所述膜片还包括：

弹簧结构，用于连接所述中间部分和周边部分，所述弹簧结构为同心环形的褶皱部分或者螺旋状的褶皱部分。

7.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其中，所述膜片的周边部分包括不连续区域。

8.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其中，所述膜片的中间部分包括至少一个通孔。

9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，所述背极板电极位于所述膜片的可动区域上方，并且所述背极板电极的面积小于等于所述膜片的可动区域的面积。

10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，所述背极板电极的面积小于等于所述声腔的最小横截面积。

11.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，所述背极板电极与所述膜片之间的间距为1微米至3微米。

12.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，还包括：

位于所述衬底第一表面上的第一隔离层；以及

位于所述第一隔离层远离所述衬底的表面上的第二隔离层，

其中，所述声腔贯穿所述第一隔离层。

13.根据权利要求12所述的MEMS麦克风，其中，还包括：

第一保护层和第二保护层，所述背极板电极位于所述第一保护层和所述第二保护层之间，所述第一保护层位于所述第二隔离层与所述背极板电极之间。

14.根据权利要求13所述的MEMS麦克风，其中，所述第一保护层在面对所述膜片的第一表面的表面上形成多个突起物，以防止所述背极板电极与所述膜片之间的粘连。

15.根据权利要求13所述的MEMS麦克风，其中，所述第二保护层作为所述背极板电极的机械支撑层以提供刚度，使得所述背极板电极在工作状态下维持为无形变状态。

16.根据权利要求13所述的MEMS麦克风，其中，还包括：

多个释放孔，所述多个释放孔贯穿所述第一保护层、所述背极板电极和所述第二保护层；以及

空腔，位于所述第二隔离层中，所述空腔暴露所述膜片的第一表面以及用于连接膜片第一表面和第二表面的侧面，所述空腔还包括所述第二隔离层与所述膜片侧面之间的间隔。

17.根据权利要求16所述的MEMS麦克风，其中，所述释放孔和所述声腔经由所述空腔连通。