[发明专利]托盘及具有该托盘的机台在审
申请号: | 201911424672.4 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111025705A | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 吴双 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G03F7/20 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 吕姝娟 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 托盘 具有 机台 | ||
1.一种托盘,其特征在于,包括:
一基座;
多个第一支撑柱,设置于所述基座上;以及
多个第二支撑柱,设置于所述基座上;
其中所述多个第一支撑柱沿所述基座的中心线排列设置,所述多个第二支撑柱分散设置于除了所述基座的中心线的周围。
2.根据权利要求1所述的托盘,其特征在于:所述多个第一支撑柱为抗静电材质,所述多个第二支撑柱为非导电材质。
3.根据权利要求1所述的托盘,其特征在于:所述多个第一支撑柱以及所述多个第二支撑柱均为抗静电材质。
4.根据权利要求1所述的托盘,其特征在于:所述多个第一支撑柱以等间距沿所述基座的中心线排列设置。
5.根据权利要求1所述的托盘,其特征在于:所述多个第一支撑柱至少排列两排。
6.根据权利要求1所述的托盘,其特征在于:所述多个第一支撑柱的高度由两侧往中心递减。
7.根据权利要求1所述的托盘,其特征在于:所述多个第二支撑柱的高度由外圈往内圈递减。
8.根据权利要求1所述的托盘,其特征在于:所述多个第一支撑柱的直径为5毫米至15毫米。
9.根据权利要求1所述的托盘,其特征在于:所述多个第一支撑柱的直径为5毫米至25毫米。
10.一种机台,其特征在于:包括权利要求1-9任一项所述的托盘。
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