[发明专利]一种以氟化物为电解质层的全固态电致变色器件及其制备方法

权利要求书

1.一种以氟化物为电解质层的全固态电致变色器件的制备方法，其特征在于该方法是按以下步骤完成的：

一、采用真空热蒸镀法在基底上依次沉积底透明导电层、电致变色层；

步骤一中所述的底透明导电层的沉积速率为2埃米/秒，厚度为150nm；电致变色层的沉积速率为2埃米/秒，厚度为450nm；

步骤一中所述的底透明导电层为ITO层；

步骤一中所述的电致变色层为WO₃层；

二、以氟化物为蒸发材料，将蒸发材料置于蒸发室中的蒸发坩埚或者蒸发舟中，再将沉积有导电层和电致变色层的基底置于蒸发腔室的样品旋转台上，再将蒸发腔室抽真空至抽真空度＜5.0×10^-3Pa；再采用电子束或者电阻进行蒸发，蒸发速率为0.1埃米/秒，蒸发厚度为100nm，在电致变色层上沉积出氟化物电解质层，所述的样品旋转台与蒸发材料之间的距离为15cm；

步骤二中所述的氟化物为LiF；

三、采用真空热蒸镀法在氟化物电解质层上依次沉积离子储存层和顶透明导电层；

步骤三中所述的离子储存层为NiO层；

步骤三中所述的顶透明导电层为ITO层；

步骤三中所述的离子储存层的沉积速率为2埃米/秒，厚度为250nm；顶透明导电层的沉积速率为2埃米/秒，厚度为150nm；

所述的以氟化物为电解质层的全固态电致变色器件的循环稳定性较好，在经过300圈循环后，器件的衰减不足3％；

所述的以氟化物为电解质层的全固态电致变色器件在着色态的平均透过率低于30％，褪色态的平均透过率在70％，光学调制范围大于40％；

所述的以氟化物为电解质层的全固态电致变色器件的着色响应时间为9.6s，退色响应时间为4.0s。