[发明专利]一种单晶硅片的清洗及制绒方法

权利要求书

1.一种单晶硅片的制绒方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)将切割好的单晶硅片在氨水溶液中浸泡清洗，且在清洗的过程中不对单晶硅片造成刻蚀；

2)将经过步骤1)处理后的单晶硅片在硝酸和氟化氢的混合酸液中浸泡清洗，并在单晶硅片表面形成10-15μm的刻蚀量，形成光滑的单晶硅片表面；

3)将经过步骤2)处理后的单晶硅片在双氧水和氢氧化钾/氢氧化钠的混合液中进行清洗，在单晶硅片表面形成8-13μm的刻蚀量，同时在单晶硅片表面形成稀疏的硅原子层；

所述氨水溶液中氨水的质量百分数为25～28％；

所述硝酸和氟化氢的混合酸液中，硝酸的体积百分比为5％-8％，氟化氢的体积百分比为5％-10％；

所述双氧水和氢氧化钾/氢氧化钠的混合液中，双氧水质量百分比为5％-8％，氢氧化钾/氢氧化钠的质量百分比为4％-5％；

4)采用氢氧化钾/氢氧化钠和制绒添加剂的混合液对清洗后的单晶硅片进行碱制绒；

所述氢氧化钾/氢氧化钠 和制绒添加剂的混合液中，氢氧化钾的质量百分数为3～4％，制绒添加剂的质量百分数为0.5-1％，余量为去离子水；

所述制绒添加剂由包括如下步骤的方法制备得到：

将玉米爆米花打碎后用纤维素酶、果胶酶和木聚糖酶的混合酶进行酶解，将酶解产物用高锰酸钾氧化；调节高锰酸钾氧化后的酶解产物的pH为8.5～9.5，将酶解产物进行除渣操作，将剩余液体浓缩至其固含量大于50％，即得所述制绒添加剂；

所述酶解的过程中，调整酶解液中玉米爆米花质量百分比为10％-15％，纤维素酶质量百分比为1.5％-2％，果胶酶和木聚糖酶的质量百分比均为0.8％-1.2％，其余为水；

所述高锰酸钾质量为所述酶解产物质量的0.005-0.008倍；

5)碱制绒完成后采用氟硅酸铵溶液对绒面进行打磨；所述氟硅酸铵溶液中氟硅酸铵的质量百分数为0.2～1％。

2.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤1)清洗的时间为3～5min；

和/或，步骤2)的清洗时间为5～8min；

和/或，步骤3)的清洗时间为5～8min，清洗方式为鼓泡清洗。

3.根据权利要求1或2所述的制绒方法，其特征在于，所述步骤1)、步骤2)和步骤3)完成后均用去离子水对单晶硅片进行清洗的操作。

4.权利要求1～3任一项所述制绒方法制备得到的单晶硅片。