[发明专利]一种定位装置

权利要求书

1.一种定位装置，其特征在于，包括：

放置台(11)，其用于承载硅片，所述放置台(11)上设置有至少三个滑动槽(111)，所有的所述滑动槽(111)所在的直线交于一点；

定位组件(12)，其与所述滑动槽(111)一一对应设置，且能够沿所述滑动槽(111)的长度方向移动，所述定位组件(12)包括定位件(121)，所述定位件(121)露于所述滑动槽(111)设置；

驱动件(13)，其能够驱使所述定位件(121)相互靠拢，以夹持定位所述硅片；还能够驱使所述定位件(121)相互远离，以解除对所述硅片的夹持。

2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述放置台(11)上设置有六个滑动槽(111)，所述定位组件(12)的数量为六个。

3.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，还包括旋转盘(14)和拨叉(15)，所述旋转盘(14)位于所述放置台(11)的下方，所述拨叉(15)与所述定位组件(12)一一对应设置，所述拨叉(15)的第一端转动连接于所述旋转盘(14)的非轴心处，所述拨叉(15)的第二端连接于所述定位组件(12)，所述旋转盘(14)转动能够驱使所述定位组件(12)相互靠拢或远离。

4.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述定位组件(12)还包括第一连接轴(122)，所述第一连接轴(122)的一端连接于所述拨叉(15)的第一端，另一端与所述定位件(121)转动连接。

5.根据权利要求4所述的定位装置，其特征在于，所述定位组件(12)还包括第一轴承(123)，所述第一轴承(123)套设于所述第一连接轴(122)上，所述第一轴承(123)的外圈与所述滑动槽(111)的内壁相接触。

6.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，还包括旋转轴(16)，所述旋转盘(14)固定连接于所述旋转轴(16)的顶端，所述旋转轴(16)与所述驱动件(13)传动连接。

7.根据权利要求6所述的定位装置，其特征在于，所述驱动件(13)的输出端设置有第一传动轮(131)，所述旋转轴(16)上设置有第二传动轮(161)，所述第一传动轮(131)和所述第二传动轮(161)通过传动皮带(17)传动连接。

8.根据权利要求6所述的定位装置，其特征在于，还包括吸盘(18)，所述吸盘(18)设置于所述放置台(11)上，所述吸盘(18)用于吸附所述硅片。

9.根据权利要求8所述的定位装置，其特征在于，还包括机架(20)和中空轴(19)，所述放置台(11)设置于所述机架(20)上，所述中空轴(19)竖直地设置于所述机架(20)上，且顶端固定连接于所述放置台(11)，所述中空轴(19)上设置有与所述吸盘(18)连通的通气孔(191)，所述旋转轴(16)转动地套设于所述中空轴(19)上。

10.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述驱动件(13)为伺服电机、步进电机或减速电机。