[发明专利]一种氮化物靶材的制备方法

权利要求书

1.一种氮化物靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）在载气条件下，将氮化物粉末进行研磨、筛分；

（2）在步骤（1）的粉末中加入聚乙烯醇，并在模具中用冷等静压或热等静压或温等静压预压制成型为坯体；

（3）将步骤（2）的坯体进行预烧排胶后，在惰性气体或氨气或真空条件下，在600-1000^oC温度下烧结得到氮化物靶材；

所述氮化物粉末通过如下方法制备得到：将氮化物相对应的金属、金属氧化物或金属羟基氧化物在氨气条件下，在600-980^oC进行氮化处理2-7小时得到氮化物粉末，其中氧化物或羟基氧化物纯度不低于99.995%，氨气纯度不低于4N；

所述氮化物粉末为氮化镓粉末、氮化锌粉末或者氮化铟粉末，并且将氮化物相对应的金属、金属氧化物或金属羟基氧化物在氨气条件下，在600-980^oC进行氮化处理2-7小时得到氮化物粉末包括：

将氧化镓或羟基氧化镓在氨气条件下，在980℃进行氮化处理4小时得到氮化镓粉末，其中制备得到的氮化镓粉末的粒径范围为0.05-40μm，比表面积为3.6～18m²/g；或者

将金属锌在氨气条件下，在610℃进行氮化处理5小时得到氮化锌粉末，其中制备得到的氮化锌粉末的粒径范围为0.02-30μm，比表面积为4.0～25m²/g；或者

将氧化铟或羟基氧化铟在氨气条件下，在680℃进行氮化处理3小时得到氮化铟粉末，其中制备得到的氮化铟粉末的粒径范围为0.05-20μm，比表面积为4.3～15m²/g；

并且在步骤（1）的粉末中加入聚乙烯醇，并在模具中用冷等静压或热等静压或温等静压预压制成型为坯体包括：

在所述氮化镓粉末中加入3wt％的聚乙烯醇，在100℃、90MPa条件下压制成型为坯体；或者

在所述氮化锌粉末中加入1wt％的聚乙烯醇，在200℃、80MPa条件下压制成型为坯体；或者

在所述氮化铟粉末中加入5wt％的聚乙烯醇，在300℃、80MPa条件下压制成型为坯体。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在步骤（3）中，预烧排胶的温度为500-650^oC。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在步骤（3）中，所述惰性气体为氮气或氩气。

4.一种权利要求1~3任一项所述的制备方法制备得到的氮化物靶材。

5.权利要求4所述的氮化物靶材在半导体材料中的应用。