[发明专利]手套箱系统有效
| 申请号: | 201911411454.7 | 申请日: | 2019-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN111086029B | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
| 发明(设计)人: | 邴一飞 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | B25J21/02 | 分类号: | B25J21/02 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 吕姝娟 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 手套 系统 | ||
一种手套箱系统,包括:操作箱,包括一操作腔室和复数个手套;纯化系统,包括一纯化腔室,以及位于所述纯化腔室中的至少一氧过滤单元和至少一水过滤单元、以及外接管路,用于将外部空气导至所述纯化腔室;以及循环管路,包括第一循环管路和第二循环管路;所述第一循环管路用于将所述纯化腔室中的空气导至所述操作腔室中,以及所述第二循环管路用于将所述操作腔室中的空气导至所述纯化腔室。
【技述领域】
本发明涉及手套箱系统技述领域,具体涉及一种可同时或单独调控氧和水含量的手套箱系统。
【背景技述】
手套箱系统包括一个密封的操作箱,可以通过固定在操作箱外壁上的手套在这个操作箱体内进行所有操作,其广泛应用于锂电池、核能、医学以及化学工业等各种行业。这些行业常常会涉及到一些对环境中水、氧敏感的工艺步骤,其中一些工艺步骤对环境中水、氧的要求是含量越低越好,但有一些生产工艺对环境中的水敏感,却希望环境中存在氧气,因为特定的反应希望有氧气可以参与。
目前用于操作箱的纯化系统,只能同时对环境中的水、氧含量进行控制,如果希望控制环境中的水含量而不控制氧含量,或只控制氧含量而不控制水含量,则无法实现。这是因为目前用于手套箱系统的纯化系统的设计,通常将水氧纯化材料放置在同一个过滤单元之中。在对环境气体进行纯化过程中,环境气体必须先后经过水纯化材料和氧纯化材料,无法进行调控从而单独控制水/氧的含量。
【发明内容】
为解决现有手套箱系统无法单独分别纯化水和氧进而分别调控水和氧在手套箱系统的操作箱内的含量的技述问题,本发明提出一种手套箱系统,包括:
操作箱,包括操作腔室和复数个手套,所述操作腔室的一侧设有复数个开口,用于设置所述复数个手套;纯化系统,包括纯化腔室,以及位于所述纯化腔室中的至少一氧过滤单元和至少一水过滤单元、以及外接管路;以及循环管路,包括第一循环管路和第二循环管路,所述第一循环管路和所述第二循环管路连通所述操作腔室和所述纯化腔室;其中所述第一循环管路用于将所述纯化腔室中的空气导至所述操作腔室中,以及所述第二循环管路用于将所述操作腔室中的空气导至所述纯化腔室。
较佳地,所述纯化系统还包括复数个内部管路以及设置于所述复数个内部管路之间的复数个阀单元;所述复数个内部管路用于连通所述第二循环管路、所述至少一氧过滤单元、所述至少一水过滤单元、以及所述第一循环管路,所述复数个阀单元用于调控所述复数个内部管路之间的连通或切断;其中,被导至所述操作腔室中的空气通过所述第二循环管路和所述复数个内部管路被导至所述至少一氧过滤单元和所述至少一水过滤单元之至少一者、所述第一循环管路,然后回到所述操作腔室中。
较佳地,所述外接管路包括一阀单元,用于调控氮气或惰性气体导至所述第一循环管路的连通或切断。
较佳地,所述阀单元为一电磁阀单元。
较佳地,所述氧过滤单元和所述水过滤单元为一吸附式过滤器。
较佳地,所述至少一氧过滤单元和所述至少一水过滤单元包括第一氧过滤单元、第二氧过滤单元、第一水过滤单元、以及第二水过滤单元。
较佳地,所述纯化系统还包括复数个内部管路以及设置于所述复数个内部管路之间的复数个阀单元,所述复数个内部管路用于连通所述第二循环管路、所述第一氧过滤单元、所述第二氧过滤单元、所述第一水过滤单元、所述第二水过滤单元、以及所述第一循环管路;所述复数个阀单元用于调控所述复数个内部管路之间的连通或切断;其中,被导至所述操作腔室中的空气通过所述第二循环管路和所述复数个内部管路被导至所述第一氧过滤单元、所述第二氧过滤单元、所述第一水过滤单元、所述第二水过滤单元之至少一者、以及所述第一循环管路,然后回到所述操作腔室中。
较佳地,所述复述个手套分别对应所述至少一氧过滤单元和所述至少一水过滤单元。
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